Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-3067 Установка отмывки сверхтонких пластин

 

Установка отмывки сверхтонких пластин ЭМ-3067 предназначена для мойки струей воды, смешанной с воздухом, и сушки пластин после резки их на кристаллы. В установке используется способ струйной гидродинамической очистки, заключающийся в подаче на очищаемую поверхность водяной струи, смешанной со сжатым воздухом. Сушка производится в струе очищенного сжатого воздуха или инертного газа за счет центробежного эффекта с раскручиванием пластины до 3000 об/мин. Опционально предусмотрена возможность отмывки надрезанных пластин без наклейки на плёнку рамки-носителя.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диаметр полупроводниковых пластин, мм (max)200
Время очистки, с0...180
Время сушки, с0...180
Частота вращения центрифуги, об/мин300 ... 3000
Электропитание установки, В/Гц/Вт230/50/500
Габаритные размеры, мм600x400x1300
Масса, кг80