Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6290 Автомат зондовый

Автомат зондового контроля ЭМ-6290 предназначен для контактирования кристаллов ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм в диапазоне нормальных и повышенных температур в условиях многономенклатурного производства.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
1. Автоматическая загрузка-выгрузка пластин.
2. Диаметр пластины до 200 мм.
3. Автоматическая ориентация и выход на первый кристалл.
4. Автоматическое контактирование по заданной программе.
5. Маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины.
6. Режим "мягкого" контактирования.
7. Групповое контактирование (8 кристаллов).
8. Опция отложенного маркирования.
9. Опция перепроверки бракованных кристаллов перед маркированием.
10. Маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диаметр полупроводниковых пластин, мм, max 200
Погрешность контактирования, мкм ± 3
Тип привода ЛШД
Электропитание установки, В/Гц/Вт 230/50/800
Габаритные размеры, мм 1230x1000x1500
Масса, кг600