Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6520 Установка зондовая

 

Полуавтоматические установки зондовые ЭМ-6520 и ЭМ-6520-1 предназначены для контактирования кристаллов ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм в диапазоне нормальных и повышенных температур в условиях многономенклатурного производства.

Установки обеспечивают:
- электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине по заданной программе обхода;
- картографирование результатов контроля пластины по группам годности;
- вывод результатов контроля пластин на дисплей и периферийное устройство;
- маркирование кристаллов краской.

Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
 
Диаметр полупроводниковых пластин, мм, max 200
Погрешность контактирования, мкм ± 10
Максимальный размер кристалла, мм 20
Нагрев рабочего столика/планшайбы (ЭМ-6520), °C, max 150
Электропитание установки, В/Гц/Вт 230/50/800
Габаритные размеры, мм 800x700x1600
Масса, кг 300