Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6190А Установка зондовая

 

Автоматизированная установка зондовая ЭМ-6190А предназначена для контактирования кристаллов ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм в диапазоне нормальных и повышенных температур в условиях многономенклатурного производства.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
1. Диаметр пластины до 200 мм.
2. Автоматическая ориентация и выход на первый кристалл.
3. Автоматическое контактирование по заданной программе.
4. Маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины.
5. Режим "мягкого" контактирования.
6. Групповое контактирование (8 кристаллов).
7. Опция отложенного маркирования.
8. Опция перепроверки бракованных кристаллов перед маркированием.
9. Маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины.

Установка опционально может быть оснащена загрузочным устройством.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диаметр полупроводниковых пластин, мм, max 200
Погрешность контактирования, мкм ± 3
Тип привода ЛШД
Электропитание установки, В/Гц/Вт 230/50/800
Габаритные размеры, мм 800x800x1500
Масса, кг500