Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии

EМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии


Установка автоматической спектральной эллипсометрии ЭМ-6022 предназначена для прецизионного контроля бесконтактным неразрушающим методом толщин пленок и многослойных тонкопленочных структур, а также их оптических констант на полупроводниковых пластинах.
Установка позволяет в реальных условиях серийного полупроводникового производства на рабочих и контрольных пластинах измерять оптические константы и толщины моно и мультислоев: окислов кремния, нитриды кремния, фоторезистов и др.

В УСТАНОВКЕ ЭМ-6022 РЕАЛИЗОВАНЫ НОВЕЙШИЕ И ПРОГРЕССИВНЫЕ ДОСТИЖЕНИЯ ИЗ НЕСКОЛЬКИХ ОБЛАСТЕЙ СОВРЕМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ:
  • Применение светодиодов;
  • Использование SMIF контейнера;
  • Роботизация загрузки-выгрузки;
  • Использование информационных технологий.

ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ УДОБСТВА РАБОТЫ И УВЕЛИЧЕНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ В УСТАНОВКЕ АВТОМАТИЗИРОВАН РЯД ОПЕРАЦИЙ:
  • Выход в зону расположения контролируемой структуры.
  • Автофокусировка по изображению.
  • Горизонтальное и вертикальное перемещение образца.
  • Загрузка - выгрузка.
  • Статистическая обработка данных контроля.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Время контроля в одной точке:
- минимальное, сек
- среднее, сек

2
10
Спектральный диапазон, нм190 ... 1000
Диаметр пластин, мм100; 150; 200
Размер пятна, мкм2000 ... 5000
Размер пятна с микронасадкой (при перпендикулярном падении света), мкм100
Диапазон контроля толщин прозрачных плёнок, нм0.1 ... 35000
Размер рабочего поля, мм200х200
 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин
Контейнеры для хранения фотошаблонов