Transmenu powered by JoomlArt.com - Mambo Joomla Professional Templates Club

• Главная
• О предприятии
  • О предприятии
  • Наша история
  • Политика в области качества
  • Противодействие коррупции
  • Закупки за счет собственных средств
  • Кооперация
  • Руководящий состав
    • ВИСКУШЕНКО АЛЕКСАНДР АДАМОВИЧ
    • Ародь Константин Эдуардович
    • ПЛЕБАНОВИЧ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ
    • Матюшков Владимир Егорович
    • АВАКОВ СЕРГЕЙ МИРЗОЕВИЧ
  • Контакты
• Продукция
  • Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах
  • Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах
  • Продукция оптического и механического производств
  • Испытательное оборудование
• Услуги
  • Разработка и изготовление оптико-механического оборудования
  • Изготовление оптических компонентов
  • Изготовление прессформ
  • Изделия, изготовленные методом фотолитографии
• Новости и события
  • КБТЭМ-ОМО ПОЗДРАВЛЯЕТ КИТАЙСКИХ ПАРТНЕРОВ С 70-ЛЕТИЕМ ОБРАЗОВАНИЯ КИТАЙСКОЙ НАРОДНОЙ РЕСПУБЛИКИ!
  • ПОЗДРАВЛЯЕМ С ДНЕМ МАШИНОСТРОИТЕЛЯ!
  • CHIPEXPO-2019, 16-18 ОКТЯБРЯ
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» посетила делегация Шанхайского Муниципального Комитета по Науке и Технологиям
  • Деловой визит узбекской делегации
  • Made in Belarus 2019, 30 июня - 02 июля
  • Отраслевая лаборатория испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования
  • SEMICON WEST 2019, 9-11 ИЮЛЯ
  • Приглашаем на выставку белорусских товаров и услуг «Made in Belarus», 30 июня - 2 июля 2019
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Днем Победы
  • Приглашаем на SEMIEXPO RUSSIA 2019, 14-15 мая
  • ExpoElectronica / ElectronTechExpo - 2019
  • Поздравление директора ОАО "КБТЭМ-ОМО" С.М. Авакова с 8 марта
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с 23 февраля
  • Приглашаем на ЭкспоЭлектроника, 15-17 апреля 2019
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» ПОЗДРАВЛЯЕТ АЗИАТСКИХ ПАРТНЕРОВ С ПРАЗДНИКОМ ВЕСНЫ И КИТАЙСКИМ НОВЫМ ГОДОМ!
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» посетила делегация представителей АО «Протон»
  • SEMICON CHINA 2019, 20-22 марта
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Новым годом и Рождеством
  • SEMICON Europa - 2018
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» на Международной выставке импортных товаров и услуг
  • SEMICON Europa 2018, 13-16 ноября
  • КИТАЙСКАЯ МЕЖДУНАРОДНАЯ ИМПОРТНАЯ ВЫСТАВКА 2018, 5-10 НОЯБРЯ
  • ChipExpo-2018, 17-19 октября
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» посетили представители Международной ассоциации академий наук
  • В ОАО «КБТЭМ-ОМО» состоялось заседание научного совета Международной ассоциации академий наук
  • Поздравляем с Днем Машиностроителя!
  • Беларусь и Китай утвердили программу научно-технического сотрудничества на 2019-2020 годы
  • ПОЗДРАВЛЯЕМ сотрудника предприятия Андрея Дедкова и его сына Евгения!
  • С деловым визитом представители компании MIC посетили ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • Все ключевые технологии мы реализуем у себя на предприятии
  • SEMICON WEST 2018, 10-12 июля
  • SEMIEXPO RUSSIA 2018, 29-30 мая
  • Динамичное изменение топологии микросхем — преимущество мультифотонаборного степпера
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Днем Победы
  • ExpoElectronica - 2018
  • Приглашаем на ЭкспоЭлектроника, 17-19 апреля 2018
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с 8 марта
  • SPIE.Advanced Lithography 2018, 27-28 февраля
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Новым годом и Рождеством
  • Пленарное заседание ІІ Съезда ученых
  • В Минске начал работу II Съезд ученых Республики Беларусь
  • SEMICON Europa - 2017
  • Выступление директора с докладом на конференции выставки SEMICON Europa 2017
  • Форум «ВТТА - Омск 2017»
  • SEMICON Europa 2017, 14-17 ноября
  • Выставка ChipEXPO - 2017
  • 55 лет ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» принимает участие в III Международном форуме «Микроэлектроника – 2017» (г. Алушта)
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» принимает участие в конференции «ЭКБ-2017»
  • Визит китайской делегации
  • С Днем машиностроителя!
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» на конференции «Развитие радиоэлектроники – основа цифровой экономики России»
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» и АО «НПП «Исток» им. Шокина» подписали договор
  • Первый день на выставке SEMICON West 2017
  • SEMICON WEST 2016, 11-13 июля
  • С 4 июля 2017 года в ОАО «КБТЭМ-ОМО» осуществлен переход на международный формат банковского счета
  • 33-я европейская техническая конференция по фотошаблонам и фотолитографии EMLC 2017
  • Поздравление с Днем Независимости Республики Беларусь!
  • Комплект оборудования ОАО «КБТЭМ-ОМО» для проекционной субмикронной литографии
  • eMerge Americas 2017, 12-13 июня
  • SEMIEXPO RUSSIA 2017
  • Приглашаем на выставку-конференцию «eMerge Americas», 12-13 июня 2017
  • SEMIEXPO RUSSIA 2017, 7-8 июня
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» на Белорусско-Китайском научно-техническом форуме 2017
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Днем Победы
  • Приглашаем на ЭкспоЭлектроника, 25-27 апреля 2017
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» на выставке научных и научно-технических достижений
  • Академик Г.Я. Красников посетил ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с 8 марта
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с 23 февраля
  • Кластер в сфере микро-, опто-, СВЧ-электроники и точного электронного машиностроения в Беларуси
  • Утвержден логотип Года науки
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» ПОЗДРАВЛЯЕТ АЗИАТСКИХ ПАРТНЕРОВ С ПРАЗДНИКОМ ВЕСНЫ И КИТАЙСКИМ НОВЫМ ГОДОМ!
  • Высший пилотаж
  • Поздравление директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова с Новым годом и Рождеством
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» - 25 ЛЕТ
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» НА ВЫСТАВКЕ БЕЛОРУССКО-ТУРЕЦКОГО БИЗНЕС-ФОРУМА
  • Деловой визит китайской делегации
  • БЕЛОРУССКАЯ ПРОДУКЦИЯ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ НЕ УСТУПАЕТ МИРОВЫМ АНАЛОГАМ
  • ПРОДЛЕНА АККРЕДИТАЦИЯ ОАО «КБТЭМ-ОМО» В КАЧЕСТВЕ НАУЧНОЙ ОРГАНИЗАЦИИ
  • Первый день на выставке SEMICON Europa 2016
  • SEMICON Europa 2016, 25-27 октября
  • С деловым визитом в Тайване представители ОАО «КБТЭМ-ОМО» посетили компании PDMC и TCE
  • Представители ОАО «КБТЭМ-ОМО» с деловым визитом в Тайване посетили фирму MIC
  • Продвижение оборудования ОАО «КБТЭМ-ОМО» в странах Северной и Южной Америки
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» на 5-ой выставке ЭКСПО «Китай-Евразия»
  • Представители SIOM посетили ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • С Днем машиностроителя!
  • С чего начинается микросхема
  • Представители компании CETC на ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • Представители компании Colandis GmbH посетили ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • Конференция по инвестиционному сотрудничеству «Китай (Шэньчжень) – Беларусь (Минск)»
  • Первый день на выставке SEMICON West 2016
  • С Днем Независимости Республики Беларусь!
  • Визит в ОАО «КБТЭМ-ОМО» делегации Министерства по науке и технике Китайской Народной Республики
  • Визит в ОАО «КБТЭМ-ОМО» делегации Шанхайской муниципальной комиссии по науке и технологии
  • SEMICON WEST 2016, 12-14 июля
  • SEMICON RUSSIA - 2016
  • SEMICON RUSSIA 2016, 8-9 июня
  • С праздником Великой Победы!
  • Состоялся семинар «КБТЭМ-ОМО – оборудование для микроэлектроники и сервис мирового уровня»
  • 21 апреля семинар «КБТЭМ-ОМО – оборудование для микроэлектроники и сервис мирового уровня»
  • Визит на Compugraphics International Ltd.
  • ЭкспоЭлектроника - 2016
  • ЭкспоЭлектроника, 15-17 марта 2016
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» поздравляет китайских партнеров с Праздником Весны!
  • С Новым годом и Рождеством!
  • Белорусско-китайский научно-технический форум 2015
  • XIV отраслевая научно-техническая конференция
  • Visit to NIISI RAN
  • Визит представителей дипмиссий на предприятие ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • ЭкспоЭлектроника, 24-26 марта 2015
  • Компенсация затрат на кредитование закупки продукции ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • XY международный научно-практический семинар
  • Приглашаем на выставку «ЭлектронТехЭкспо»
  • ВИЗИТ ПРЕДСТАВИТЕЛЕЙ ОАО "АВАНГАРД"
  • ОАО «КБТЭМ-ОМО» заключило соглашение о сотрудничестве с компанией GenISys
  • Визит специалистов ТУСУР
  • Выставка достижений молодежной науки
  • 2015 – ГОД МОЛОДЕЖИ В БЕЛАРУСИ
  • С Новым Годом!
  • Semicon Europa 2014
  • Визит Вице-Президента компании GenISys
  • Рабочий визит в Малайзию и Сингапур
  • Semicon Russia 2014
  • ЭкспоЭлектроника, 15 - 17 апреля 2014
  • Семинар ОАО «КБТЭМ-ОМО»
  • Интервью директора ОАО «КБТЭМ-ОМО» С.М. Авакова газете "Новости недели" (Израиль)
  • ОАО"КБТЭМ-ОМО"
  • Премьер-министр Республики Беларусь Мясникович М.В. посетил ГНПО"Планар"
  • Председатель Совета Республики Рубинов А.Н. посетил УП"КБТЭМ-ОМО"
  • ПОЗДРАВЛЯЕМ С МЕЖДУНАРОДНЫМ ЖЕНСКИМ ДНЕМ!!!
  • Аккредитация научной организации
• Научная деятельность
  • Наши публикации
  • Научные разработки
  • Государственные премии и награды
  • Ссылки

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

• Прецизионные генераторы изображений
  • ЭМ-5589 Многоканальный лазерный генератор изображений
  • ЭМ-5489 Многоканальный лазерный генератор изображений на базе твердотельного лазера
  • ЭМ-5289Б Генератор сканирующий лазерный
  • ЭМ-5189-02 Генератор изображения лазерный многоканальный
• Генераторы изображений для специальных приложений
  • ЭМ-5209 Лазерная установка многоцелевого назначения для формирования микроизображений
  • ЭМ-5309 Установка микрофотонаборная оптико-механическая
  • ЭМ-5009М Генератор изображений для изготовления эмульсионных фотошаблонов
• Фотоповторители
  • ЭМ-5062М Фотоповторитель
  • ЭМ-5162 Установка для изготовления рабочих фотошаблонов методом проекционного переноса изображений
• Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов
  • ЭМ-6929 Установка контроля дефектности и оценки интегральных характеристик топологии фотошаблонов
  • ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов
  • ЭМ-6015М1 Установка финишного экспресс контроля шаблонов с пелликлами
• Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов
  • ЭМ-5231 Широкоформатная лазерная установка ремонта фотошаблонов
  • ЭМ-5141 Установка ремонта фотошаблонов
  • ЭМ-5131Б Установка лазерного устранения дефектов фотошаблонов
  • ЭМ-5001В Установка лазерного устранения дефектов фотошаблонов
• Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов
  • ЭМ-6239-01 Установка автоматизированного контроля микроразмеров
  • ЭМ-6209 Установка измерения координат топологии и контроля совмещаемости фотошаблонов
• Лазерная установка автоматического контроля неплоскостности заготовок фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

• Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
  • ЭМ-5289Б Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках
  • ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках
  • ЭМ-5589 Многоканальный лазерный генератор изображений
  • ЭМ-5489 Многоканальный лазерный генератор изображений на базе твердотельного лазера
• Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
  • ЭМ-5186 Установка формирования знаков совмещения на нижнюю сторону пластин
  • ЭМ-5084M Автоматическая установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5884 Проекционная фотомонтажная установка для экспонирования полупроводниковых пластин
  • ЭМ-5784 Автоматическая установка совмещения и экспонирования
• Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
  • ЭМ-5026АМ Установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5096 Установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5026М1 Установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5026B Установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5106 Установка совмещения и экспонирования
  • ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования
• Широкоформатные степперы
  • ЭМ-5434М Установка экспонирования для изготовления печатных плат высокой плотности соединений
  • ЭМ-5534 Бампинг-степпер
  • ЭМ-5634 CCD-степпер
• Оборудование для контроля полупроводниковых пластин
  • ЭМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии
  • ЭМ-6419 Установка контроля отклонений от плоскостности полупроводниковых пластин
  • ЭМ-6429 Установка автоматического микроконтроля
  • ЭМ-6129 Установка автоматического контроля привносимых дефектов
  • ЭМ-6015М1 Автоматизированная установка контроля микроизображений
  • ЭМ-6439 Установка контроля размеров субмикронных структур

Продукция оптического и механического производств

• Изготовление оптических компонентов
  • Призмы
  • Плоскопараллельные детали
  • Клинья
  • Асферические детали
  • Зеркала
  • Светоделители
  • Просветляющие покрытия
  • Моллированные отражатели
  • Изделия, изготовленные методом фотолитографии
  • Вакуумные столики
  • Растровые компоненты
  • Сферические линзы
• Прессформы
• Линейные шаговые двигатели

• Home
• About
  • About
  • Our history
  • QA company policy
  • Management
    • Vladimir Plebanovich
    • Alexander Viskushenko
    • MATJUSHKOV VLADIMIR
    • Sergey Avakov
  • Contacts
• Production
  • Equipment for mask pattern generation and inspection
  • Equipment for wafer pattern generation and inspection
  • Optical and mechanical components
• Services
  • Development and manufacturing of the optical-mechanical equipment
  • Manufacturing of optical components
  • Manufacture of molds
  • Manufacturing by photolithography methods
• News and events
  • KBTEM-OMO CONGRATULATES OUR CHINESE PARTNERS WITH THE 70TH ANNIVERSARY OF THE FOUNDING OF THE PRC!
  • Science & Technology Commission of Shanghai Municipality representatives visited KBTEM-OMO
  • SEMICON WEST 2019, JULY 9-11
  • Meet us at SEMIEXPO RUSSIA 2019, May 14-15
  • Meet us at ExpoElectronica 2019, April 15-17
  • KBTEM-OMO CONGRATULATES OUR PARTNERS THROUGHT THE WORLD WITH THE CHINESE NEW YEAR!
  • SEMICON CHINA 2019, March 20-22
  • Christmas greeting
  • SEMICON EUROPA - 2018, NOVEMBER 13-16
  • KBTEM-OMO AT THE EXHIBITION OF CHINA INTERNATIONAL IMPORT EXPO (CIIE) 2018, NOVEMBER 5-10
  • SEMICON EUROPA 2018, November 13-16
  • CHINA INTERNATIONAL IMPORT EXPO 2018, November 05-10
  • IAAS REPRESENTATIVES VISITED KBTEM-OMO
  • Belarus, China approve sci-tech cooperation program for 2019-2020
  • CONGRATULATIONS to our company coworker Andrey Dedkov and his son with a silver medal!
  • MIC representatives visited KBTEM-OMO
  • SEMICON WEST 2018, July 10-12
  • SEMIEXPO RUSSIA 2018, May 29-30
  • Meet us at ExpoElectronica 2018, April 17-19
  • SPIE.Advanced Lithography 2018, February 27-28
  • KBTEM-OMO JSC congratulates our partners throught the World with the 2018 Chinese Spring Festival!
  • Christmas greeting
  • SEMICON Europa - 2017
  • Company director report at the conference of SEMICON Europa 2017
  • SEMICON EUROPA 2017, November 14-17
  • 68th Anniversary of the Founding of the People’s Republic of China
  • CONTRACT SIGNING BETWEEN KBTEM-OMO JSC AND "RPC "ISTOK" NAMED AFTER SHOKIN" JSC
  • First day at SEMICON West 2017
  • SEMICON WEST 2017, July 11-13
  • Introducing IBAN bank account format starting from July 4, 2017
  • The 33rd EMLC European Mask and Lithography Conference
  • eMerge Americas 2017, June 12-13
  • Meet us at eMerge Americas 2017, June 12-13
  • SEMIEXPO RUSSIA 2017, June 7-8
  • ExpoElectronica 2017, April 25-27
  • KBTEM-OMO CONGRATULATES OUR PARTNERS THROUGHT THE WORLD WITH THE 2017 CHINESE NEW YEAR!
  • Christmas greeting
  • THE 25TH ANNIVERSARY OF KBTEM-OMO
  • KBTEM-OMO AT THE EXHIBITION OF THE BELARUSIAN-TURKISH BUSINESS FORUM
  • Visit of Chinese businessmen to KBTEM-OMO
  • BELARUSIAN PRODUCTS OF PRECISION ENGINEERING ARE NOT INFERIOR TO THE WORLD ANALOGUES
  • ACCREDITATION OF KBTEM-OMO AS THE SCIENTIFIC INSTITUTION WAS EXTENDED
  • FIRST DAY AT SEMICON EUROPA 2016
  • SEMICON EUROPA 2016, October 25-27
  • KBTEM-OMO representatives visited PDMC and TCE in Taiwan
  • KBTEM-OMO JSC representatives visited MIC in Taiwan
  • KBTEM-OMO tool promotion in North and South American countries
  • KBTEM-OMO at the 5th China-Eurasia Expo (Urumqi, China)
  • The representatives of SIOM visited KBTEM-OMO JSC
  • CETC representatives visit KBTEM-OMO JSC
  • Representatives of Colandis GmbH visited KBTEM-OMO JSC
  • An investment cooperation conference "China (Shenzhen) - Belarus (Minsk)"
  • First day at SEMICON West 2016
  • The visit of the delegation of the Ministry of Science and Technology of China (MOST)
  • The visit of the delegation of Shanghai Municipal Science and Technology Commission
  • SEMICON WEST 2016, July 12-14
  • SEMICON RUSSIA - 2016
  • SEMICON RUSSIA 2016, June 8-9
  • Visit to Compugraphics at Glenrothes
  • ExpoElectronica - 2016
  • ExpoElectronica, 15-17 March 2016
  • KBTEM-OMO JSC congratulates our partners throught the World with the 2016 Chinese Spring Festival!
  • Merry Christmas and Happy New Year!
  • Foreign ambassadors and diplomats visit KBTEM-OMO JSC for a company tour
  • KBTEM-OMO and GenISys Announce Cooperation
  • HAPPY NEW YEAR!
  • «KBTEM-OMO» JSC
  • KBTEM-OMO is officially acknowledged as Scientific Institution
• R&D activity
  • Our publications
    • LIST OF ARTICLES OF KBTEM-OMO EMPLOYEES
  • Scientific development
  • References
  • State Prizes and Awards

Equipment for mask pattern generation and inspection

• Precision pattern generators
  • EM-5589 Multichannel laser pattern generator
  • EM-5489 Multichannel Solid State Laser Pattern Generator
  • EМ-5289B Multichannel laser pattern generator
  • EМ-5189-02 Multichannel laser pattern generator
• Special application pattern generator
  • EM-5209 Multi-purpose Laser System For Micro Patterning
  • EМ-5309 Multi-purpose laser pattern generator
  • EM-5009М Laser pattern generator
• Photorepeaters
  • EM-5162 System For Work Mask Fabrication by Projection Imaging
  • EМ-5062 Photorepeater
• Automatic mask inspection
  • EМ-6929 Automatic mask inspection system
  • EM-6729B and EM-6729-0,25 Automatic mask inspection systems
  • EМ-6015M1 System For Ultimate Express Inspection Of Pellicle-Covered Masks
• Laser-based mask defect repair systems
  • EM-5231 Large-field Laser-based Mask Defect Repair System
  • EM-5141 Laser-based Mask Defect Repair System
  • EМ-5131B Laser-based mask defect repair system
  • EМ-5001В Laser-based mask defect repair system
• Systems for inspection of work masks
  • EМ-6239-01 Automated micro size inspection system
  • EМ-6209 Mask pattern coordinates measurement system
• Automatic Laser Mask Blank Non-flatness Inspection System

Equipment for wafer pattern generation and inspection

• Pattern generator for wafers
  • EM-5489 Multichannel solid state laser pattern generator
  • EM-5589 Multichannel laser pattern generator
  • EM-5289B Multichannel laser pattern generator
  • EM-5189-02 Multichannel laser pattern generator
• Equipment for wafer projection imaging
  • EМ-5084M Wafer Stepper
  • EM-5186 Double-side alignment mark placement system
  • EM-5884 Projection photo assembly system for wafer exposure
  • EM-5784 Automatic alighment and exposure system
• Tools for proximity exposure and double-side lithography
  • EМ-5026АМ Mask Aligner
  • EM-5096 Mask aligner
  • EМ-5026М1 Mask Aligner
  • EМ-5026B Double-Side Mask Aligner
  • EM-5106 Mask Aligner
  • EM-5126 Mask Aligner
• Large-area steppers
  • EМ-5434M High density integration PCB stepper
  • EМ-5534 Bumping Stepper
  • EМ-5634 CCD Stepper
• Wafer inspection equipment
  • EM-6022 Automatic spectral ellipsometry system
  • EМ-6419 Wafer flatness inspection system
  • EМ-6429 Automatic patterned wafer micro defect inspection system
  • EМ-6129 Automatic unpatterned wafer defect inspection system
  • EM-6015M1 System for ultimate express inspection of pellicle-covered masks
  • EM-6439 Submicron Size Inspection System

Optical and mechanical components

• Making optical components
  • Photolithographed parts
  • Beam splitters
  • Mirrors
  • Antireflective coating
  • Vacuum chucks
  • Bent reflectors
  • Raster components
  • Plane-parallel parts
  • Wedges
  • Prisms
  • Aspherical components
  • Spherical components
• Molds
• Linear step motors reflectors