Оборудование для проекционного переноса изображений на подложку в кристальном производстве занимают важнейшую роль, так как, обеспечивает самую высокую производительность при лучшей разрешающей способности.
Проекционная фотолитография используется преимущественно в крупносерийном и массовом производстве, так как позволяет снизить себестоимость изделий по сравнению с другими видами фотолитографий при больших объемах выпуска.
Самыми важными параметрами проекционной литографии является высокая производительность, малые технологические нормы, низкий уровень привнесенной дефектности все это позволяет обеспечить высокий процент выхода годных изделий.
Это полностью автоматические установки, оснащенные системами технического зрения, датчиками аттестации, имеющее программируемые загрузочные устройства, развитое программное обеспечение.
ОАО "Планар" является родоначальником такого оборудования и имеет большой опыт в разработке и производстве мультипликаторов.
Планар (КБТЭМ)
