Планар (КБТЭМ)
 
ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ

Оборудование для проекционного переноса изображений на подложку в кристальном производстве занимают важнейшую роль, так как, обеспечивает самую высокую производительность при лучшей разрешающей способности.

Проекционная фотолитография используется преимущественно в крупносерийном и массовом производстве, так как позволяет снизить себестоимость изделий по сравнению с другими видами фотолитографий при больших объемах выпуска.

Самыми важными параметрами проекционной литографии является высокая производительность, малые технологические нормы, низкий уровень привнесенной дефектности все это позволяет обеспечить высокий процент выхода годных изделий.

Это полностью автоматические установки, оснащенные системами технического зрения, датчиками аттестации, имеющее программируемые загрузочные устройства, развитое программное обеспечение.

ОАО "Планар" является родоначальником такого оборудования и имеет большой опыт в разработке и производстве мультипликаторов.

 


МОДЕЛЬНЫЙ РЯД ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ


 


 


 



ЭМ-5186
Установка формирования знаков совмещения на нижнюю сторону пластин

 


ЭМ-5084БM Автоматическая установка
совмещения и экспонирования

 ЭМ-5884 Проекционная фотомонтажная установка для экспонирования полупроводниковых пластин  


ЭМ-5784 Автоматическая установка совмещения и экспонирования