«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

 

Установки серии ЭМ-5026хх и ЭМ-5096 предназначены для совмещения изображения фотошаблона и пластины (подложки) и последующего переноса этого изображения с шаблона на пластину контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины.

Основные особенности:
- система компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном;
- высокоточный манипулятор перемещения пластин по трем координатам (Х,Y,Q) с двумя ступенями (грубого и тонкого) совмещения;
- возможность работать с пластинами из хрупких материалов (арсенида галлия и ниобата лития толщиной 0.2…0.8 мм);
- возможность работы с подложками прямоугольной формы;
- встроенная в установку система защиты от вибрации;
- режим энергосбережения.

 
 
 
 
 
 

KBTEM-OMO year og science