|
ОБОРУДОВАНИЕ КОНТАКТНОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ НА ПОДЛОЖКИ И ДЛЯ ОРГАНИЗАЦИИ ДВУСТОРОННЕЙ ЛИТОГРАФИИ |
|
Один из старейших видов фотолитографии - контактная, тем не менее широко используется в современном производстве. Качество фотошаблонов и современные возможности контроля изготовления фотошаблонов дают высокие результаты для контактной литографии. Здесь существует компромисс между более простым процессом совмещения и экспонирования и сложности и массовости полупроводникового изделия.
За историю нашего предприятия мы разработали широкую гамму установок контактной печати как для мелкосерийных производств и научных лабораторий (с ручной загрузкой), так и полностью автоматических для серийных производств.
Так как на рынке востребованы установки с совмещением по обратной стороне (особенно при производстве МЭМС-приборов и датчиков) нами разработаны установки, позволяющие создавать производственную линию реализующую технологию двусторонней фотолитографии. Наше оборудование является лидером по уровню привносимой дефектности, точности совмещения, разрешающей способности и потребляемой мощности.
| ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ БАЗИРУЮТСЯ НА УНИКАЛЬНЫХ КОНСТРУКТОРСКИХ РЕШЕНИЯХ: |
|
- автоматическая система совмещения пластины и фотошаблона (ЭМ-5126);
- автоматическая система загрузки и выгрузки пластин (ЭМ-5126; ЭМ-5106; ЭМ-5026АМ; ЭМ-5026В)
- автоматическая система компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном;
- высокоточный манипулятор перемещения пластин по трем координатам (Х,Y,Q) с двумя ступенями (грубого и тонкого) совмещения;
- возможность работать с пластинами из хрупких материалов (арсенида галлия и ниобата лития толщиной 0.2…0.8 мм);
- автоматическая возможность работы с подложками прямоугольной формы;
- встроенная система видеоконтроля;
- встроенная в установку система защиты от вибрации;
- режим энергосбережения.
| МОДЕЛЬНЫЙ РЯД ОБОРУДОВАНИЯ КОНТАКТНОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ НА ПОДЛОЖКИ И ДЛЯ ОРГАНИЗАЦИИ ДВУСТОРОННЕЙ ЛИТОГРАФИИ |
|
|
Планар (КБТЭМ)
