|
Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах |
|
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины имеют решающее значение для выпуска продукции массового производства. Самым важным параметром данного класса изделий является высокая производительность и высокая точность воспроизведения технологических параметров. Это полностью автоматизированное оборудование, оснащенное системами технического зрения, имеющее развитое программное обеспечение, перепрограммируемые загрузочные устройства.
ОАО "Планар" (КБТЭМ-ОМО) имеет большой опыт в разработке такого оборудования. История создания оборудования для проекционного переноса изображений на нашем предприятии представлены в исторической ретроспективе.
|
