Планар (КБТЭМ)
 
Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Оборудование для формирования топологических структур на фотошаблонах включает генераторы изображений, установки автоматического контроля фотошаблонов, лазерные установки ремонта фотошаблонов, фотоповторители, а также большая группа контрольно-измерительного оборудования предназначенного для работы с фотошаблонами, включая установки контроля координат, контроля линейных размеров, фотометрического анализа пространственного изображения топологии и др. 

Комплекс оборудования для производства фотошаблонов, от одного разработчика, характеризуется следующими важнейшими преимуществами:
 - совместимость координатных систем установок всего комплекса оборудования;
- единый подход к построению компенсации систем координат;
- единая система преобразования проектных данных;
- возможность создания единых форматов данных;
- максимальная унификация систем управления, дружественный интерфейс.

 


 


 



Прецизионные генераторы изображений

 


Генераторы изображений для специальных приложений

 


ФОТОПОВТОРИТЕЛИ

 

 


 


 



Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

 


Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

 


Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

 

 

 

 


 




 


Лазерная установка автоматического контроля неплоскостности заготовок фотошаблонов