|
ЭМ-5489Б Многоканальный лазерный генератор изображений |
|
Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 32-канальной архитектуры.
В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый лазер с длиной волны 257.2 нм.
Мощность лазера 1000 мВт.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Размер минимального элемента, нм | 350 | | Время экспонирования области 100х100мм, мин | 120 | | Размер поля экспонирования, мм | 215х215 | | Совмещаемость комплекта шаблонов, нм | 50 | | Неровность края элементов топологии, нм | 30 | | Дискретность адресной сетки, нм | 1.25 | | Потребляемая мощность, не более, кВт | 55 |
|
Планар (КБТЭМ)