Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-5489 Многоканальный лазерный генератор изображений на базе твердотельного лазера

 

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования с исполь­зо­ванием 32-канальной архитектуры.

В системе ­экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ­лазер с длиной волны 257.2 нм. Мощность лазера 1000 мВт.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размер минимального элемента, нм350
Время экспонирования области 100х100мм, мин120
Размер поля экспонирования, мм215х215
Совмещаемость комплекта шаблонов, нм50
Неровность края элементов топологии, нм30
Дискретность адресной сетки, нм1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт55