«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5289Б Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования.

 

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 350
Время экспонирования области 100х100 мм, мин 120
Размер поля экспонирования, мм 215x215
Совмещаемостъ слоев, нм 60
Однородность размеров элементов топологии, нм 30
Дискретность адресной сетки, нм 1.25

 

 

KBTEM-OMO year og science