«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5289Б Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках

ЭМ-5289Б Генератор сканирующий лазерный

 

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать
совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография).
Изображение формируется по принципу растрового сканирования с исполь­зо­ванием 32-канальной архитектуры.

В системе ­экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ­лазер с длиной волны 257,2 нм.
Мощность лазера 1000 мВт. Модель Innova Sаbre MotoFred фирмы Coherent.

 

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 350
Время экспонирования области 100х100мм, мин 120
Размер поля экспонирования, мм 215х215
Совмещаемость комплекта шаблонов, нм 50
Неровность края элементов топологии, нм 30
Дискретность адресной сетки, нм 1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт 55

 

 

 
Приглашаем посетить
наш стенд на выставке
 
Shanghai New International
Expo Centre
Шанхай, КНР
20-22 Марта, 2019
Add to My Expo Plan
Register Now