«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6015М Установка автоматизированного контроля дефектности

 

ЭМ-6015М Установка автоматизированного контроля дефектности

Установка предназначена для автоматизированного контроля и обнаружения дефектов и загрязнений на поверхности фотошаблонов, в том числе защищенных с двух сторон пелликлами, и полупроводниковых пластин. Контроль проводится с использованием комбинаций режимов освещения светлое и темное поле отраженного и проходящего света.

Особенности установки:
- программное управление работой установки, возможность программирования пользователем маршрута контроля;
- программная обработка данных о дефектах (изображение, координаты, размеры) с сохранением в базе данных;
- автофокусировка;
- объективы с увеличенными рабочими отрезками;
- тачскрин;
- модульность конструкции.

 

 

Технические характеристики установки 

Числовые апертуры комплекта объективов 0.03 ... 0.5
Диапазон увеличений объективов 20х ... 500х
Минимальный рабочий отрезок объективов, мм 11
Линейные поля зрения объективов, мм 0.45 ... 10
Диапазон контролируемых размеров,мкм 1 ... 120
Дискрет представления данных при оценке линейных размеров, мкм 0.01
Ход координатного стола,мм 200х200
Диапазон скоростей координатного стола, мм/с от 0.02 до 20
Минимальный шаг перемещений стола, не более мкм 1.0
Потребляемая мощность, не более, Вт  500
 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

KBTEM-OMO year og science