Планар (КБТЭМ)
 
УСТАНОВКИ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ

 

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

С повышением технологического уровня полупроводникового производства качество фотошаблона можно определить только с помощью специализированных контрольных систем- дефекты изделия невидимы ввиду микро- и наноразмеров, ощутить их невозможно невооруженным глазом и даже вооруженным, это "глаза" технологов и разработчиков, только наличие этого оборудования позволит увидеть и решить технологические проблемы и значительно сократить сроки освоения и внедрения.

Понять суть и проблемы технологических процессов изготовления изделия - это значит сделать изделие бездефектным. Вот такую критическую роль в производстве фотошаблонов играют оптические системы и микроскопы.


МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ


 


 



ЭМ-6929
Установка контроля дефектности и оценки интегральных характеристик топологии фотошаблонов

 


ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

 


ЭМ-6015М1
Автоматизированная установка контроля микроизображений