|
УСТАНОВКИ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
С повышением технологического уровня полупроводникового производства качество фотошаблона можно определить только с помощью специализированных контрольных систем- дефекты изделия невидимы ввиду микро- и наноразмеров, ощутить их невозможно невооруженным глазом и даже вооруженным, это "глаза" технологов и разработчиков, только наличие этого оборудования позволит увидеть и решить технологические проблемы и значительно сократить сроки освоения и внедрения.
Понять проблемы технологических процессов изготовления изделия - это значит сделать изделие бездефектным. Вот такую критическую роль в производстве фотошаблонов играют оптические системы и микроскопы.
| МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
|
Планар (КБТЭМ)
