«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

 

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Контроль топологических рисунков имеет решающее значение для изготовления бездефектных шаблонов. Для этого применяются как отдельные микроскопы, так и мощные оптические системы для субмикронных структур.

 

В ОАО «КБТЭМ-ОМО» разработан модельный ряд установок автоматического контроля оригиналов топологии на фотошаблонах.
Создание систем для уровня технологии 45-60 нм - требование времени.