Планар (КБТЭМ)
 
ПРЕЦИЗИОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ ИЗОБРАЖЕНИЙ

Генераторы изображений производятся на базе самых современных технологий и относятся к одному из самых сложных оборудований в фотошаблонном производстве.

Сегодня сканирующие лазерные генераторы сохраняют ведущие позиции в производстве фотошаблонов, так как позволяют получать высокую точность формирования изображения, а также получили новое развитие при непосредственном формировании изображений на полупроводниковых пластинах. Качество генератора определяет не только минимальный элемент топологии, который возможно получить на установке, но и точностные параметры, которые определяют выход годных приборов, и, соответственно, экономику производства.
На генераторах изображений нашего производства возможно производить с высокой точностью как традиционные бинарные фотошаблоны, фотошаблоны с коррекцией оптической близости, так и фазосдвигающие фотошаблоны по технологии двойного маскирования.


ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ГЕНЕРАТОРОВ:

- Оригинальный метод формирования эталонных изображений
- Электрооптическая система управления лучом лазера
- Координатный стол на магнитно-воздушной подушке с использованием линейно-шаговых двигателей и лазерных интерферометров

 

МОДЕЛЬНЫЙ РЯД МНОГОКАНАЛЬНЫХ ЛАЗЕРНЫХ ГЕНЕРАТОРОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ



 

ЭМ-5489
Многоканальный лазерный генератор изображений на базе твердотельного лазера
 


ЭМ-5589
Многоканальный лазерный генератор изображений