«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ПРЕЦИЗИОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ ИЗОБРАЖЕНИЙ

 

Генераторы изображений относятся к сложному оборудованию в производстве фотошаблонов. Изготовление такого оборудования может быть выполнено только с помощью современных технологий.

Сканирующие многоканальные лазерные генераторы представляют новое поколение лазерных генераторов изображений для изготовления фотошаблонов и непосредственного формирования изображений на полупроводниковых пластинах без ограничения на размер кристалла. Генератор изображений формирует элементы топологии с высокой точностью, способен рисовать фазосдвигающие фотошаблоны, а также фотошаблоны с коррекцией оптической близости. Время формирования изображения зависит только от размера кристалла и не зависит от сложности топологии слоя.

 

Основные особенности генераторов:

  • Оригинальный метод формирования эталонных изображений
  • Электрооптическая система управления лучем лазера
  • Координатный стол на магнитно-воздушной подушке с использованием линейно-шаговых двигателей и лазерных интерферометров

 

 

ОАО «КБТЭМ-ОМО» имеет большой опыт в разработке оптико-механического оборудования.
Здесь представлен модельный ряд многоканальных лазерных генераторов изображений для микроэлектроники.

Выпуск с 2012 г. 7 поколение: уровень технологии 90 нм ЭМ-5389 Rmin=200 нм
Выпуск с 2008г. 6 поколение: уровень технологии 180 нм ЭМ-5289 Rmin=350 нм
Выпуск с 2005 г. 5 поколение: уровень технологии 350 нм ЭМ-5189 Rmin=600 нм
Выпуск с 1999 г. 4 поколение: уровень технологии 500 нм ЭМ-5089Б Rmin=800 нм
Выпуск с 1994 г. 3 поколение: уровень технологии 1,0 мкм ЭМ-5089А Rmin=1,0 мкм
Выпуск с 1988 г. 2 поколение: уровень технологии 1,5 мкм ЭМ-5089 Rmin=1,5 мкм
Выпуск с 1988 г. 1 поколение: уровень технологии 2,0 мкм ЭМ-589Б Rmin=2,0 мкм

 

ЭМ-5289Б Сканирующий лазерный генератор

ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор 

 

KBTEM-OMO year og science