|
Этот класс оборудования предназначен для формирования и
контроля мультиплицированных рабочих шаблонов на основе эталонных образцов для
серийного и мелкосерийного полупроводниковых производств:
Фотоповторитель - для формирования мультиплицированных
рабочих шаблонов.
|
Планар (КБТЭМ)
