|
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов |
|
|
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов предназначены для ремонта фотошаблонов, имеющих прозрачные и непрозрачные дефекты.
Для ремонта непрозрачных дефектов устраняется контрольно-проекционный метод формирования оптического изображения.
Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе протокола дефектов, формируемых установкой автоматического контроля дефектов.
Модельный ряд установок лазерного устранения дефектов оригиналов топологии на фотошаблонах, разработанных и освоенных на предприятии, представлен в таблице.
|
| Выпуск с 2017 г. |
7 поколение: уровень технологии 65 нм |
ЭМ-5141 |
Rmin=150 нм |
| Выпуск с 2009 г. |
6 поколение: уровень технологии 90 нм |
ЭМ-5131 |
Rmin=250 нм |
| Выпуск с 2007 г. |
5 поколение: LCD (поле 900х600 мм) |
ЭМ-5201 |
Rmin=500 нм |
| Выпуск с 2001 г. |
4 поколение: уровень технологии 350 нм |
ЭМ-5001Б |
Rmin=500 нм |
| Выпуск с 1995 г. |
3 поколение: уровень технологии 800 нм |
ЭМ-5001АМ |
Rmin=1.1 мкм |
ЭМ-5231 Широкоформатная лазерная установка ремонта фотошаблонов
ЭМ-5171 Установка коррекции микроструктур фазосдвигающих фотошаблонов
ЭМ-5131 Установка лазерного устранения дефектов фотошаблонов
|
