|
УСТАНОВКИ ЛАЗЕРНОГО УСТРАНЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
Этот вид оборудования в комплексе оборудования для фотошаблонного производства занимает неоспоримо важную роль как финишер изготовления бездефектных структур, в том числе на этом этапе должны выполняться работы таким образом, чтобы не допустить внесение новых дефектов собственными процессами установки. Современное оборудование многофункционально, помимо целевых функций они оснащаются сопутствующими, в результате получается синергия уникальных возможностей. Таковыми являются установки, изготавливаемые нашим предприятием для устранения дефектов фотошаблонов.
В процессе производства фотошаблонов выделяют две основные группы дефектов- прозрачные (отсутствие части элементов топологии) и непрозрачные (лишние части элементов топологии).
Для ремонта непрозрачных дефектов устраняется контрольно-проекционный метод формирования оптического изображения.
Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе протокола дефектов, формируемых установкой автоматического контроля дефектов.
|
Планар (КБТЭМ)
