«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов 

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов предназначены для ремонта фотошаблонов, имеющих прозрачные и непрозрачные дефекты.

Для ремонта непрозрачных дефектов устраняется контрольно-проекционный метод формирования оптического изображения.
Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе протокола дефектов, формируемых установкой автоматического контроля дефектов.

Модельный ряд установок лазерного устранения дефектов оригиналов топологии на фотошаблонах, разработанных и освоенных на предприятии, представлен в таблице.

 

 

Выпуск с 2009 г. 6 поколение: уровень технологии 90 нм ЭМ-5131 Rmin=250 нм
Выпуск с 2007 г. 5 поколение: LCD (поле 900х600 мм) ЭМ-5201 Rmin=500 нм
Выпуск с 2001 г. 4 поколение: уровень технологии 350 нм ЭМ-5001Б Rmin=500 нм
Выпуск с 1995 г. 3 поколение: уровень технологии 800 нм ЭМ-5001АМ Rmin=1.1 мкм

 

ЭМ-5131 Установка лазерного устранения дефектов фотошаблонов 

 

 

KBTEM-OMO year og science