Планар (КБТЭМ)
 
УСТАНОВКИ ЛАЗЕРНОГО УСТРАНЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Этот вид оборудования в комплексе оборудования для фотошаблонного производства занимает неоспоримо важную роль как финишер изготовления бездефектных структур, в том числе на этом этапе должны выполняться работы таким образом, чтобы не допустить внесение новых дефектов собственными процессами установки. Современное оборудование многофункционально, помимо целевых функций они оснащаются сопутствующими, в результате получается синергия уникальных возможностей. Таковыми являются установки, изготавливаемые нашим предприятием для устранения дефектов фотошаблонов.

В процессе производства фотошаблонов выделяют две основные группы дефектов- прозрачные (отсутствие части элементов топологии) и непрозрачные (лишние части элементов топологии).

Для ремонта непрозрачных дефектов устраняется контрольно-проекционный метод формирования оптического изображения.

Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе протокола дефектов, формируемых установкой автоматического контроля дефектов.

Выпуск с 2017 г.7 поколение: уровень технологии 65 нмЭМ-5141Rmin=150 нм
Выпуск с 2009 г.6 поколение: уровень технологии 90 нмЭМ-5131Rmin=250 нм
Выпуск с 2007 г.5 поколение: LCD (поле 900х600 мм)ЭМ-5201Rmin=500 нм
Выпуск с 2001 г.4 поколение: уровень технологии 350 нмЭМ-5001БRmin=500 нм
Выпуск с 1995 г.3 поколение: уровень технологии 800 нмЭМ-5001АМRmin=1.1 мкм

 


 


 



ЭМ-5231 Широкоформатная лазерная установка ремонта фотошаблонов

 


ЭМ-5171
Установка коррекции микроструктур фазосдвигающих фотошаблонов

 


ЭМ-5131
Установка лазерного устранения дефектов фотошаблонов