Планар (КБТЭМ)
 
УСТАНОВКИ КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ

Этот класс оборудования предназначен для контроля критических размеров и координат топологических элементов, расположенных на фотошаблонах.

Установки предназначены для работы в чистых помещениях фотошаблонного производства.
Применение данного класса оборудования позволяет дать однозначную оценку пригодности комплекта фотошаблонов для производства микросхем.

 
МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ



 


ЭМ-6339
Установка автоматизированного контроля микроразмеров

 


ЭМ-6309
Установка измерения координат топологии и контроля совмещаемости фотошаблонов