УСТАНОВКИ КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
Этот класс оборудования предназначен для контроля рабочих шаблонов для серийного и мелкосерийного полупроводниковых производств- вопросы соответствия проектным нормам, размерам и координатам размещения элементов топологии на фотошаблонах другими способами не решишь, в противном случае невозможно экономически выгодно производить полупроводниковые изделия и понимать и видеть весь технологический процесс в комплексе.
МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
|