|
УСТАНОВКИ КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
Этот класс оборудования предназначен для контроля критических размеров и координат топологических элементов, расположенных на фотошаблонах.
Установки предназначены для работы в чистых помещениях фотошаблонного производства.
Применение данного класса оборудования позволяет дать однозначную оценку пригодности комплекта фотошаблонов для производства микросхем.
| МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
|
Планар (КБТЭМ)
