ОАО «Планар»
КБТЭМ-ОМО
 
Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов
Этот класс оборудования предназначен для контроля рабочих шаблонов для серийного и мелкосерийного полупроводниковых производств
  • Установка автоматизированного контроля микроразмеров.
  • Установка измерения координат топологии фотошаблонов.