Планар (КБТЭМ)
 
УСТАНОВКИ КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ

Этот класс оборудования предназначен для контроля рабочих шаблонов для серийного и мелкосерийного полупроводниковых производств- вопросы соответствия проектным нормам, размерам и координатам размещения элементов топологии на фотошаблонах другими способами не решишь, в противном случае невозможно экономически выгодно производить полупроводниковые изделия и понимать и видеть весь технологический процесс в комплексе.

 
МОДЕЛЬНЫЙ РЯД УСТАНОВОК КОНТРОЛЯ МИКРОРАЗМЕРОВ И КООРДИНАТ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ



 


ЭМ-6339
Установка автоматизированного контроля микроразмеров

  


ЭМ-6309
Установка измерения координат топологии и контроля совмещаемости фотошаблонов

 
 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений
Генераторы изображений для специальных приложений
Фотоповторители
Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов
Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов
ЭМ-6339 Установка автоматизированного контроля микроразмеров
ЭМ-6309 Установка измерения координат топологии и контроля совмещаемости фотошаблонов
Лазерная установка автоматического контроля неплоскостности заготовок фотошаблонов
Контейнеры для хранения фотошаблонов


ОАО «Планар» (КБТЭМ)
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»