Планар (КБТЭМ)
 
Наша история

История холдинга "Планар" ведёт свой отсчет с ноября 1962 года, когда в г. Минске в структуре Министерства электронной промышленности СССР было создано Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ) с главным направлением деятельности: разработка и организация производства оборудования для фотолитографических процессов и сборочных операций при производстве ИС и других изделий микроэлектроники.

Первые шаги в деятельности конструкторского бюро были направлены на формирование высококвалифицированного коллектива и развитие инфраструктуры, обеспечивающей реализацию жизненного цикла создания сложнейшей продукции, начиная от научных исследований, разработки конструкторской документации, изготовления опытных образцов и заканчивая их серийным освоением, поставкой и сервисным обслуживанием продукции у покупателя.

Уже в первые годы деятельности было разработано и поставлено на предприятия электронной промышленности оборудование для производства фотошаблонов и проведения операций совмещения и экспонирования на полупроводниковых пластинах, оборудование для сборки ИС и гибридных схем, использующих термокомпрессионные, ультразвуковые, электроимпульсные методы присоединения проволочных выводов.

В 1966 году была разработана первая фотонаборная установка (генератор изображения), а в 1967 году - поточная автоматизированная линия сборки транзисторов на ленте в пластмассовых корпусах.

В 1971 году было образовано научно-производственное объединение "Планар" во главе с КБТЭМ. В его состав вошли крупные машиностроительные заводы: "Эллар", г. Рига (Латвия); "Эвистор", г. Витебск (Беларусь); "Этон", г. Новолукомль и другие предприятия, расположенные в г. Горки и г. Ново-Ржеве.

В 1973 году на "Планаре" был разработан первый степпер модели ЭМ-542, опередивший конкурентов из других стран, а в 1977 г. начато серийное производство полных автоматов присоединения проволочных выводов модели ЭМ-490Б и зондовых автоматов модели ЭМ-680, использующих 4 координатный линейный шаговый привод.

Стремительный рост степени интеграции БИС, размеров кристаллов и переход на пластины диаметром 5", 6" и 8" потребовал новых разработок. В 1981 году была разработана и серийно освоена новая базовая модель степпера ЭМ-584, использующая новый многокоординатный привод на ЛЩД, новые проекционные объективы серии Бинар. Около 1000 степперов различных модификаций базовой модели изготовлено за эти годы.

Дальнейшее развитие получило направление по разработкам генераторов изображения. Использование новых источников излучения (лазеров, импульсных ламп), быстродействующих компьютеров, модульных координатных приводов на ЛШД и высокоразрешающей оптики позволили создать семейство высокопроизводительных генераторов изображения моделей ЭМ-559 в 1978 году, ЭМ-5009(А) в 1981 году, a в 1984 году был создан многолучевой лазерный генератор модели ЭМ-5089. В 1988 году начался выпуск широкоформатных генераторов изображения для масок кинескопов и фотошаблонов печатных плат.

В 1992 году "Планар" приступил к производству степперов модели ЭМ-5084 на новой базовой платформе, рассчитанной на использование пластин диаметром 8" с минимальным разрешающим элементом 0,5 мкм.

Новые разработки сборочного оборудования были направлены на повышение производительности и точности выполняемых операций, полную автоматизацию рабочего цикла, создание комплексных автоматических линии. Созданные в 1981-2002 г.г. модели автоматов посадки кристаллов ЭМ-4085, присоединения проволочных выводов ЭМ-4060 (Аu) и ЭМ-4020Б (А1) были основаны на многокоординатных модульных ЛШД, техническом зрении и быстродействующих микропроцессорах. Они решили проблему резкого увеличения выпуска ИС. Более 5 тысяч штук указанных моделей было выпущено в 80-х годах. Логическим развитием этих моделей явилась разработка в 1995 году новых базовых моделей оборудования для присоединения проволочных выводов ЭМ-4260 (8 перемычек в секунду, Аu) и ЭМ-4280 (3 перемычки Аl в секунду).

В последние годы специалистами холдинга "Планар" созданы новые модели оборудования для оснащения субмикронных производственных изделий микроэлектроники: многоканальные лазерные генераторы изображения ЭМ-5189, ЭМ-5189-1, ЭМ-5289, ЭМ-5396; установки автоматического контроля фотошаблонов ЭМ-6029Б, ЭМ-6329, ЭМ-6729; оборудование для лазерного устранения дефектов ЭМ-5001Б, ЭМ-5131; широкоформатный степпер ЭМ-5434М; установки зондового контроля ЭМ-6520, ЭМ-6190А, ЭМ-6290; оборудование для механического утонения пластин ЭМ-2060, ЭМ-2070, ЭМ-2080; оборудование резки пластин на кристаллы ЭМ-2085В, ЭМ-2115 ЭМ-225М; установки монтажа кристаллов ЭМ-4485, ЭМ-4585; Установка монтажа кристаллов методом FlipChip ЭМ-4336; оборудование присоединения выводов ЭМ-4370, ЭМ-4320(-1,2,3,4), ЭМ-4320У, ЭМ-4020ПМ, ЭМ-4340А1; посты микроконтроля МК-1, МК-3, МК-АМ.

В настоящие время в холдинге "Планар" ведутся масштабные разработки по созданию оборудования для производства изделий микросистемотехники, светоизлучающих диодов, оборудования для исследований методами фотоакустической и атомной силовой микроскопии, оборудования для манипулирования объектами нанометрового диапазона.

Гамма микроскопов, комплекты логистического оборудования, изделия медицинской техники дополнят научно-технический потенциал холдинга.

Приказом Минского городского территориального фонда государственного имущества от 27 декабря 2013 г. №164 путем преобразования государственного научно-производственного объединения точного машиностроения "Планар" создано открытое акционерное общество "Планар" (ОАО "Планар"), которое выполняет функции управляющей компании научно-производственного холдинга точного машиностроения "Планар", зарегистрированного Министерством экономики РБ 24 сентября 2014 года в реестре холдингов Республики Беларусь.

Приказом Министерства промышленности Республики Беларусь от 18.10.2019г. №362  в связи с оптимизацией структуры научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар» проведена реорганизация открытого акционерного общества «Планар» путем присоединения к нему открытого акционерного общества «КБТЭМ-ОМО».

 

ВЕХИ ИСТОРИИ

2020г.: Реорганизация открытого акционерного общества «Планар» путем присоединения к нему открытого акционерного общества «КБТЭМ-ОМО»

2014г.: Научно-производственное республиканское унитарное предприятие “КБТЭМ-ОМО” (УП "КБТЭМ-ОМО") преобразовано в открытое акционерное общество “КБТЭМ-ОМО” (ОАО "КБТЭМ-ОМО")

2011г.: Создана установка автоматического контроля топологии ЭМ-6729 для проектных норм 90 нм.

2009г.: Создана установка для лазерного устранения дефектов ЭМ-5131 под проектные нормы 90 нм.

2008г.: Создан генератор изображений ЭМ-5289 под проектные нормы 180 нм.

2006г.: Создана установка автоматического контроля топологии шаблонов ЭМ-6329Б для проектных норм 130 нм.

2000г.: Государственная премия Республики Беларусь в области техники за работу «Создание и освоение в производстве комплекса конкурентоспособного прецизионного оборудования для изготовления высокоточных оригиналов топологий изделий электронной техники».
          Лауреаты: С.М. Аваков, В.Е. Матюшков, Н.С. Колядко, А.А. Дьяченко, В.А. Юдицкий. 

1997г.: Создание системы автоматизированного проектирования прецизионных оптико-механических устройств «САПР «Механика».

1991г.: Создание КБТЭМ оптико-механического оборудования (УП «КБТЭМ-ОМО») приказ Министерства промышленности Республики Беларусь №82 от 16.12.91г.
           Разработка и выпуск новых конкурентоспособных моделей оборудования (ЭМ-5084, ЭМ-5089А и др.)

1989г.: Действующий товарный знак предприятия -                                                                 

1988г.: Участие в международной выставке г. Лейпциг
           Автоматическая установка совмещения и мультипликации ЭМ-584А (Золотая медаль).

1987г.: Присвоена Государственная премия СССР в области науки и техники за «Разработку и внедрение в производство унифицированных интерактивных программно-аппаратных комплексов семейства «Кулон».
            Лауреаты: В.П. Зуев и др.

1986г.: Присвоена Государственная премия СССР в области науки и техники за «Разработку технологии, создание автоматизированного оборудования и внедрение в производство электронных приборов лазерной обработки пленочных элементов».
           Лауреаты: В.Е. Матюшков и др.

1978г.: Создание координатного стола с применением деталей из габбро-диабаза. Руководитель: Г.Д. Ускевич.
            Создание сложных объективов «Бинар-13» и «Бинар-23», серия объективов «Фокар». Разработчики: Э.С. Гуревич, Г.В. Фокова, В.И. Цуран, В.И. Шевлюкевич.

1977г.: Присвоена Государственная премия СССР в области науки и техники за «Создание комплекса автоматического прецизионного оптико-механического оборудования для микроэлектроники».
           Лауреаты: В.И. Мальто, Я.А. Райхман, И.А. Кадомский, В.А. Зайцев, А.П. Свидельский.

1975г.: Создано оптико-механическое научно-техническое отделение, которое возглавил И.А. Кадомский.

1973г.: Создан первый советский мультипликатор ЭМ-542.
           Разработчики: Я.А. Райхман, С.П. Андреев, А.Б. Канарский, В.И. Кужелева, Я.И. Фишбейн, А.П. Свидельский, Р.Е. Пятецкий.

1972г.: Участие в международной выставке г. Лейпциг
           Универсальная микрофотонаборная установка ЭМ-519 (Золотая медаль).
           Фотоповторитель ЭМ-522 (Золотая медаль).

1971г.: Участие в международной выставке г. Лейпциг
           Микрофотонаборная установка ЭМ-508 (Золотая медаль).

1969г.: Первый комплект фотолитографического оборудования:
           КП-1– ручного координатографа;
           ЭМ-503 - фотокамеры;
           ЭМ-505 - одноместного фотоповторителя;
           УСФМ-2 – установки совмещения и экспонирования.
           Разработчики – А.С. Карачун, А.Н. Риттер, Г.В. Корбан, Г.Д. Ускевич, Е.А. Кусман, В.А. Плавинский, В.П. Кравцов, В.И. Мальто, Я.И. Точицкий, И.П. Крюк.

           Участие в международной выставке г. Лейпциг
           Растровая фотокамера ЭМ-514 (Золотая медаль);

1966г.: Первая микрофотонаборная установка ЭМ-508
           Разработчики: Я.А. Райхман, В.А. Козлов, В.А. Зайцев, Ю.Н. Назаров, Ю.Е. Макаревич, Р.И. Мирончик, В.А. Рудко, А.Б. Канарский.

1965г.: Сформировано два отдела:
           1. фотолитографического оборудования, начальник В.И. Мальто
           2. перспективных разработок, начальник Я.А. Райхман

1964г.: УММ 1 – универсальный микроманипулятор
           Разработчики: В.А. Козлов, Я.А. Райхман, Р.Е. Пятецкий, В.А. Зайцев, А.П. Свидельский
 
           Первое авторское свидетельство СССР «Микроманипулятор» 
           Авторы: Я.А. Райхман, Е.А. Кусман, Г.П. Кузьмичев.

               Первый товарный знак предприятия -