«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования.

В системе экспонирования ЭМ-5189-02 используется непрерывный ультрафиолетовый полупроводниковый лазер с оптической накачкой с длиной волны 355 нм.
Мощность лазера 250 мВт. Модель Genesis CX 355-250 STM фирмы Coherent.
Гарантированное время работы на отказ 20000 часов (~10 лет).
Применение такого лазера позволило снизить потребляемую мощность установки до 5 кВт.

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 600
Время экспонирования области 100х100 мм, мин 60
Размер поля экспонирования, мм 215x215
Совмещаемостъ слоев, нм 70
Однородность размеров элементов топологии, нм 40
Дискретность адресной сетки, нм 1.25

 

 

 Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

KBTEM-OMO year og science