Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-5589 Многоканальный лазерный генератор изображений

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 16-канальной архитектуры.

В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый полупроводниковый лазер с оптической накачкой с длиной волны 355 нм.
Мощность лазера 250 мВт.
Гарантия 13 месяц или 10 000 часов (что наступит ранее).
Модель Genesis CX 355-250 STM фирмы Coherent.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размер минимального элемента, нм600
Время экспонирования области 100х100мм, мин70
Размер поля экспонирования, мм215х215
Совмещаемость слоев, нм70
Неровность края элементов топологии, нм 40
Дискретность адресной сетки, нм1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт5