ОАО «Планар»
КБТЭМ-ОМО
 
ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор изображений для формирования топологии на п/п подложках

 

Генератор изображения позволяет формировать топологию на полупроводниковых подложках и при этом обеспечивать совмещение с предыдущими слоями (безмасковая оптическая литография). Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 16-канальной архитектуры.

В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый полупроводниковый лазер с оптической накачкой с длиной волны 355 нм.
Мощность лазера 250 мВт.
Гарантия 13 месяц или 10 000 часов (что наступит ранее).
Модель Genesis CX 355-250 STM фирмы Coherent.

 

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 600
Время экспонирования области 100х100мм, мин 70
Размер поля экспонирования, мм 215х215
Совмещаемость слоев, нм 70
Неровность края элементов топологии, нм 40
Дискретность адресной сетки, нм 1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт 5