«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6239 Установка автоматизированного контроля микроразмеров

Установка предназначена для автоматического контроля размеров критических элементов топологии на полупроводниковых пластинах. Загрузка полупроводниковых пластин - автоматическая.

Контроль размеров осуществляется на длине волны 365 нм. Для наблюдения топологии используется видимый свет.

 

 

Технические характеристики установки

Диапазон размеров контролируемых элементов, мкм 0.5 ... 30
Среднее квадратическое отклонение при контроле размеров элементов, нм 2
Время контроля размера одного элемента, не более, с 1
Максимальный размер поля зрения, мм 1.7x1.3
Максимальное увеличение, не менее, крат 8000
Диапазон перемещения координатного стола Х и Y, мм 150
Шаг перемещения координатного стола, не более, мкм 0.1
Потребляемая мощность, не более, Вт 800


Более подробная информация доступна только для
зарегистрированных пользователей

 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

KBTEM-OMO year og science