|
ЭМ-6439 Установка контроля размеров субмикронных структур |
|
Установка ЭМ-6439 – это высокопроизводительная измерительная система, предназначенная для автоматического контроля топологических размеров в технологических слоях на полупроводниковых пластинах, MEMS структурах, СВЧ платах и других микроэлектронных изделиях, для которых требуются полностью автоматический контроль или инженерные исследования.
| УСТАНОВКА ПОЗВОЛЯЕТ РЕШАТЬ НЕСКОЛЬКО ЗАДАЧ: |
|
- Контролировать критические размеры в технологических процессах (ТП) с топологической нормой до 0.5 мкм;
- Контролировать совмещение топологических слоёв в ТП с топологической нормой до 0.18 мкм;
- Наблюдать и регистрировать топологический рисунок слоя в монохромном свете с аппаратным увеличением до 5000 крат
или в цветной палитре с увеличением до 200 крат.
- Применение светодиодов;
- Жесткая конструкция штатива из гранитных элементов;
- Телецентрическая оптика;
- Использование двух методов автофокусировки: аппаратный оптический и программный;
- Использование SMIF контейнера;
- Роботизация загрузки-выгрузки;
- Использование информационных технологий;
- Осуществление калибровки путём измерений аттестованных размеров на тест – шаблоне.
| ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ УДОБСТВА РАБОТЫ И УВЕЛИЧЕНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ В УСТАНОВКЕ АВТОМАТИЗИРОВАН РЯД ОПЕРАЦИЙ: |
|
- Контроль размеров топологических структур.
- Выход в зону расположения контролируемой структуры.
- Регулирование интенсивности света.
- Автофокусировка.
- Горизонтальное и вертикальное перемещение образца.
- Изменение увеличения (смена объектива).
- Загрузка - выгрузка.
- Статистическая обработка данных контроля.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диапазон контроля размеров, мкм | 0.5 ... 30 | | Диапазон оценки размера, мкм | 0.35 ... 50 | | Повторяемость результата в диапазоне контроля (3σ), нм | 6 | | Диаметры контролируемых пластин, мм | 100; 150; 200 | | Ход координатного стола для X и Y, мм | 200х200 | | Производительность контроля, не менее, пластин/час | 70 | | Потребляемая мощность КУ, не более, Вт | 800 | | Габариты ОМУ, Ш×Г×В, мм | 1000х1240х1300 | | Вес ОМУ, кг | 600 |
|
|
Планар (КБТЭМ)