«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6529 Установка автоматического макроконтроля дефектов на пластинах с топологией

 

ЭМ-6529 Установка автоматического макроконтроля дефектов на пластинах с топологией

Установка ЭМ-6529 предназначена для автоматического контроля макродефектов поверхности (внешнего вида) полупроводниковых пластин с топологическим рисунком на различных стадиях изготовления, включая финишный испекционный контроль (FOI).

Контроль проводится методом последовательного сравнения модулей пластины с эталонным изображением модуля одновременно в режиме светлого и темного полей.

 

 

Технические характеристики установки 

Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм 50
Минимальная толщина обнаруживаемых царапин, мкм 20
Производительность контроля для пластин диаметром:  
100 мм, пл/ч 110
150 мм, пл/ч 67
200 мм, пл/ч 45
Потребляемая мощность, не более, кВт 1.5

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

KBTEM-OMO year og science