Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6339 Установка автоматизированного контроля микроразмеров

 

EМ-6239-01 Установка автоматизированного контроля микроразмеров

Установка предназначена для измерения критических размеров элементов на фотошаблонах защищенных пеликлами с обеих сторон на рамке высотой до 6.5 мм. Размеры контролируемых фотошаблонов до 178х178 мм. Загрузка и съем фотошаблона с помощью захвата при положении координатного стола в позиции "загрузка-выгрузка".


УСТАНОВКА ИМЕЕТ СЛЕДУЮЩИЕ ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
  • оптика высокого разрешения позволяет производить точные измерения элементов с размерами до 0.5 микрона и оценку размеров до 0.35 мкм в ультрафиолетовом диапазоне 365 нм (i-линия);
  • обзорный канал с большим полем наблюдения, работающий в видимом свете обеспечивает удобство просмотра топологии;
  • система автофокусировки;
  • прецизионный предметный стол;
  • полупроводниковые источники света для освещения.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон размеров контролируемых элементов для X и Y, мкм 0.5 ... 30
Среднее квадратическое отклонение (СКО) при контроле размеров элементов, нм2
Время контроля размера одного элемента, не более, с1
Рабочий отрезок объектива, мм6.9
Максимальный размер поля зрения видеокамеры, мм0.65х0.8
Максимальное увеличение, не менее, крат8000
Диапазон перемещения координатного стола, мм200х200
Шаг перемещения координатного стола, не более, мкм0.1
Потребляемая мощность, не более, Вт500