«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6239-01 Установка автоматизированного контроля микроразмеров

 

ЭМ-6239-01 Установка автоматизированного контроля микроразмеров

Установка предназначена для измерения критических размеров элементов на фотошаблонах защищенных пелликлами с обеих сторон на рамке высотой до 6,5 мм. Размеры контролируемых фотошаблонов до 178х178 мм. Загрузка и съем фотошаблона с помощью захвата при положении координатного стола в позиции "загрузка-выгрузка".

Установка имеет следующие отличительные особенности:

  • оптика высокого разрешения позволяет производить точные измерения элементов с размерами до 0,5 микрона и оценку размеров до 0,35 мкм в ультрафиолетовом диапазоне 365 нм (i-линия);
  • обзорный канал с большим полем наблюдения, работающий в видимом свете обеспечивает удобство просмотра топологии;
  • система автофокусировки;
  • прецизионный предметный стол;
  • полупроводниковые источники света для освещения.

 

Технические характеристики установки

Диапазон размеров контролируемых элементов для X и Y, мкм 0,5 - 30
Среднее квадратическое отклонение (СКО) при контроле размеров элементов, нм 2
Время, контроля размера одного элемента, не более, с 1
Рабочий отрезок объектива, мм 6,9
Максимальный размер поля зрения видеокамеры, мм 0,65х0,8
Максимальное увеличение, не менее, крат 8000
Диапазон перемещения координатного стола, мм 200х200
Шаг перемещения координатного стола, не более, мкм 0,1
Потребляемая мощность, не более, Вт 800
  

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science