|
ЭМ-6339 Установка автоматизированного контроля микроразмеров |
|
Установка предназначена для контроля критических
размеров элементов на фотошаблонах защищенных пеликлами с обеих сторон
на рамке высотой до 6.5 мм. Размеры контролируемых фотошаблонов до
178х178 мм. Загрузка и съем фотошаблона с помощью захвата при положении
координатного стола в позиции "загрузка-выгрузка".
| УСТАНОВКА ИМЕЕТ СЛЕДУЮЩИЕ ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ: |
|
- оптика высокого разрешения позволяет производить точный контроль
элементов с размерами до 0.5 микрона и оценку размеров до 0.35 мкм в
ультрафиолетовом диапазоне 365 нм (i-линия);
- обзорный канал с большим полем наблюдения, работающий в видимом свете обеспечивает удобство просмотра топологии;
- система автофокусировки;
- прецизионный предметный стол;
- полупроводниковые источники света для освещения.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диапазон размеров контролируемых элементов для X и Y, мкм | 0.5 ... 30 | | Среднее квадратическое отклонение (СКО) при контроле размеров элементов, нм | 2 | | Время контроля размера одного элемента, не более, с | 1 | | Рабочий отрезок объектива, мм | 6.9 | | Максимальный размер поля зрения видеокамеры, мм | 0.65х0.8 | | Максимальное увеличение, не менее, крат | 8000 | | Диапазон перемещения координатного стола, мм | 200х200 | | Шаг перемещения координатного стола, не более, мкм | 0.1 | | Потребляемая мощность, не более, Вт | 500 |
|
Планар (КБТЭМ)
