«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5009М Генератор изображений для изготовления эмульсионных фотошаблонов

 

ЭМ-5009М Генератор изображений для изготовления эмульсионных фотошаблонов

Генератор ЭМ-5009М предназначен для изготовления эмульсионных фотошаблонов при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, гибридных схем, ЖК-индикаторов, как в производственных, так и в научно-исследовательских и учебных целях. Изображение формируется по принципу микрофотонабора.

В системе экспонирования генератора используется осветитель на базе двух импульсных ламп.

 

 

Технические характеристики установки

Размер наборного элемента, мкм 4...1500
Производительность (на регулярных структурах), млн. эксп./ч 0,2
Размер поля экспонирования, мм 153х153
Дискретность перемещений координатного стола, нм 250
Погрешность позиционирования координатного стола, нм ±300
Масштаб проекционного уменьшения 1:20
Дискретность изменения размеров наборного элемента, нм 500
Угол поворота наборного элемента,° 0...90
Потребляемая мощность, не более, кВт 3

 

  Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

 

KBTEM-OMO year og science