«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Изделия, изготовленные методом фотолитографии

Изделия, изготовленные методом фотолитографии (прецизионные фотошаблоны, сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты, миры, радиальные лимбы и диски кодовые, анализирующие маски и диафрагмы, стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы) 

Фотошаблоны для изготовления ИС, МЭМС и ГИС, испытаний и аттестации погрешности оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования

Материал подложки

оптическое стекло, кварц

Размер подложки

до 305x305 мм, толщина от 1,0 до 6,4 мм 

Топология

по требованию заказчика

Погрешность расположения элементов топологии на поле

280х280 мм - ±1мкм
140х140 мм - ±0,5мкм

Минимальный элемент на поле

100х100мм – 1мкм
200х200мм – 2,0мкм

Погрешность аттестации

на поле 140х140мм – 0,16мкм


Сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты для оптических приборов и микроскопов

Материал подложки

оптическое стекло, кварц, ситалловое стекло

Покрытие

хромированное или с антиотражающее для требуемой длины волны

Топология

по требованию заказчика 

Минимальный элемент

1,0 мкм

Погрешность аттестации

0,16мкм


Стандартные линейные, радиальные и специальные миры

Предназначены для определения и проверки разрешающей способности, глубины резкости оптических систем технологического оборудования, объективов оптических приборов, фотографических объективов и материалов, фотографических и фотолитографических процессов.

Изображение

светлое или тёмное поле

Топология

по требованию заказчика 

Минимальный элемент

1,0 мкм

Рабочее поле

до 140х140мм


Радиальные лимбы и диски кодовые (растровые), анализирующие маски и диафрагмы

Применение: датчики угла поворота станков с ЧПУ, технологического и контрольно-измерительного оборудования.

Материал подложки

оптическое стекло

Покрытие

хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны

Диаметр оптических деталей

6-280мм

Количество штрихов (на диаметре 100 мм )

6000


Стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы

Применение: для аттестации оптико-механического, контрольно-измерительного, специального технологического и других типов оборудования и приборов, в датчиках линейных перемещений станков с ЧПУ и другом спецтехнологическом оборудовании.

Материал подложки

оптическое стекло, кварц, ситалл

Покрытие

хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны

Длина шкал

до 300мм – однокоординатных или
поле 260х260мм двукоординатных

Минимальный ширина штриха

2мкм

Минимальная ширина штриха при длине до 100 мм

1мкм

 
 

KBTEM-OMO year og science