|
Изделия, изготовленные методом фотолитографии (прецизионные фотошаблоны, сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты, миры, радиальные лимбы и диски кодовые, анализирующие маски и диафрагмы, стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы)
Фотошаблоны для изготовления ИС, МЭМС и ГИС, испытаний и аттестации погрешности оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования
|
Материал подложки |
оптическое стекло, кварц |
|
Размер подложки |
до 305x305 мм, толщина от 1,0 до 6,4 мм |
|
Топология |
по требованию заказчика |
|
Погрешность расположения элементов топологии на поле |
280х280 мм - ±1мкм
140х140 мм - ±0,5мкм |
|
Минимальный элемент на поле |
100х100мм – 1мкм
200х200мм – 2,0мкм |
|
Погрешность аттестации |
на поле 140х140мм – 0,16мкм |
Сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты для оптических приборов и микроскопов
|
Материал подложки |
оптическое стекло, кварц, ситалловое стекло |
|
Покрытие |
хромированное или с антиотражающее для требуемой длины волны |
|
Топология |
по требованию заказчика |
|
Минимальный элемент |
1,0 мкм |
|
Погрешность аттестации |
0,16мкм |
Стандартные линейные, радиальные и специальные миры
Предназначены для определения и проверки разрешающей способности, глубины резкости оптических систем технологического оборудования, объективов оптических приборов, фотографических объективов и материалов, фотографических и фотолитографических процессов.
|
Изображение |
светлое или тёмное поле |
|
Топология |
по требованию заказчика |
|
Минимальный элемент |
1,0 мкм |
|
Рабочее поле |
до 140х140мм |
Радиальные лимбы и диски кодовые (растровые), анализирующие маски и диафрагмы
Применение: датчики угла поворота станков с ЧПУ, технологического и контрольно-измерительного оборудования.
|
Материал подложки |
оптическое стекло |
|
Покрытие |
хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны |
|
Диаметр оптических деталей |
6-280мм |
|
Количество штрихов (на диаметре
100 мм
) |
6000 |
Стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы
Применение: для аттестации оптико-механического, контрольно-измерительного, специального технологического и других типов оборудования и приборов, в датчиках линейных перемещений станков с ЧПУ и другом спецтехнологическом оборудовании.
|
Материал подложки |
оптическое стекло, кварц, ситалл |
|
Покрытие |
хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны |
|
Длина шкал |
до 300мм – однокоординатных или
поле 260х260мм двукоординатных |
|
Минимальный ширина штриха |
2мкм |
|
Минимальная ширина штриха при длине до
100 мм
|
1мкм | |
Планар (КБТЭМ)