|
Широкополосные диэлектрические зеркала
|
Диапазон длины волны (нм) |
Отражательная способность (среднее) |
Угол падения |
|
488—694 |
Rs, Rp >99% |
0-45° |
|
700-950 |
Rs>99%,Rp>98% |
0-45° |
|
632,8 |
Rср. >80% |
0-45° |
Зеркала для эксимерных лазеров
|
Вид лазера |
Рабочая длина волны (нм) |
Угол падения |
Отражательная способность |
|
ArF |
193,0 |
0° |
Runpol>98% |
|
KrF |
248,0 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
XeCl |
308,0 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
XeF |
351-353,0 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
ArF |
193,0 |
45° |
Runpol>95% |
|
KrF |
248,0 |
45° |
Rs, Rp>99% |
|
XeCl |
308,0 |
45° |
Rs, Rp>99% |
|
XeF |
351-353,0 |
45° |
Rs, Rp>99% |
Зеркала для Nd:YAG лазеров
|
Вид лазера |
Длина волны (нм) |
Угол падения |
Отражательная способность |
|
Nd:YAG (1) |
1064,0 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (2) |
532,0 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (3) |
354.7 |
0° |
Rs>99.7°/o,Rp>99% |
|
Nd:YAG (4) |
266,0 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (1) |
1064,0 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (2) |
532,0 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (3) |
354.7 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
Nd:YAG (4) |
266,0 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
Лазерные диэлектрические зеркала
|
Вид лазера |
Рабочая длина
волны (нм) |
Диапазон длины
волны (нм) |
Отражательная
способность |
Угол падения |
|
HeCd |
325,0 |
325,0 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
HeCd |
441.6 |
441.6 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
Argon-Iron |
488—514.5 |
488—514.5 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
HeNe |
632.8 |
632.8 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
Nd:YAG |
1064,0 |
1030-1090,0 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
Diode |
1300,0 |
1290-1350,0 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
Diode |
1550,0 |
1520—1580,0 |
Rs,Rp>99% |
0-45° | |
Планар (КБТЭМ)