|
Применение: столики предназначены для точного фиксирования кремниевых, стеклянных, керамических пластин во время обработки. Высокая точность обработки стеклянной поверхности обеспечивает высокую плоскостность обрабатываемых пластин.
Технические характеристики:
|
Материал |
ситалл, оптическое стекло, металл |
|
Габаритные размеры |
ситалл - от 200 x
200 мм;
металл до 350 x
350 мм
|
|
Диаметр мезаструктуры |
0,1 мм
и более |
|
Высота мезаструктуры |
0,02 –
0,3 мм
|
|
Отклонение плоских вершин |
0,015 мм
для ситалла и стекла | |
Планар (КБТЭМ)