«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Вакуумные столики

 

Применение: столики предназначены для точного фиксирования  кремниевых, стеклянных, керамических пластин во время обработки. Высокая точность обработки стеклянной поверхности обеспечивает высокую плоскостность обрабатываемых пластин.

Технические характеристики:

Материал

ситалл, оптическое стекло, металл

Габаритные размеры

ситалл - от 200 x 200 мм;  металл до 500 x 500 мм 

Диаметр мезаструктуры

0,1 мм и более

Высота мезаструктуры

0,02 – 0,5 мм

Отклонение плоских вершин

0,15 мм для ситалла и стекла

 

KBTEM-OMO year og science