«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
Изделия, изготовленные методом фотолитографии

Изделия, изготовленные методом фотолитографии: прецизионные фотошаблоны, сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты, миры, радиальные лимбы и диски кодовые, анализирующие маски и диафрагмы, стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы.

Фотошаблоны для изготовления ИС, МЭМС и ГИС, испытаний и аттестации погрешности оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования

Материал подложки

оптическое стекло, кварц

Размер подложки

до 305x305 мм, толщина от 1,0 до 6,4 мм 

Топология

по требованию заказчика

Погрешность расположения элементов топологии на поле

 

280х280 мм - ±1мкм
140х140 мм - ±0,5мкм

Минимальный элемент на поле

100х100мм – 1мкм
200х200мм – 2,0мкм

Погрешность аттестации

на поле 140х140мм – 0,16мкм

 

Сетки отсчётные и визирные шкалы, тест-объекты для оптических приборов и микроскопов

Материал подложки

оптическое стекло, кварц, ситалловое стекло 

Покрытие

хромированное или с антиотражающее для требуемой длины волны

Топология

по требованию заказчика

Минимальный элемент

1,0 мкм

Погрешность аттестации

0,16мкм

 

Стандартные линейные, радиальные и специальные миры

Предназначены для определения и проверки разрешающей способности, глубины резкости оптических систем технологического оборудования, объективов оптических приборов, фотографических объективов и материалов, фотографических и фотолитографических процесов

Изображение

светлое или тёмное поле

Топология

по требованию заказчика

Минимальный элемент

1,0 мкм

Рабочее поле

до 140х140мм

Радиальные лимбы и диски кодовые (растровые), анализирующие маски и диафрагмы 

Применение: датчики угла поворота станков с ЧПУ, технологического и контрольно-измерительного оборудования.

Материал подложки

оптическое стекло

Покрытие

хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны

Диаметр оптических деталей

6-280мм

Количество штрихов (на диаметре 100 мм )

6000


Стандартные стеклянные штриховые меры длины и растровые линейные шкалы  

Применение: для аттестации оптико-механического, контрольно-измерительного, специального технологического и других типов оборудования и приборов, в датчиках линейных перемещений станков с ЧПУ и другом спецтехнологическом оборудовании

Материал подложки

оптическое стекло, кварц, ситалл

Покрытие

хромированние или с антиотражающее покрытие требуемой длины волны

Длина шкал

до 300мм – однокоординатных или
поле 260х260мм двукоординатных

Минимальная ширина штриха

2мкм

Минимальная ширина штриха при длине до 100 мм

1мкм

 
 
Приглашаем посетить
наш стенд на выставке
 
Shanghai New International
Expo Centre
Шанхай, КНР
14-16 Марта, 2018
Add to My Expo Plan
Register Now

KBTEM-OMO year og science