Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6129 Установка автоматического контроля привносимых дефектов

Установка ЭМ-6129 предназначена для контроля загрязнений поверхности полупроводниковых пластин без топологии.

Установка позволяет выполнять как операции финишного инспекционного контроля на предприятиях-изготовителях полупроводниковых подложек, так и аттестацию технологических операций на привносимую дефектность в кристальном производстве.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размер минимального обнаруживаемого дефекта, нм 28 нм Высокая чувствительность, малая производительность
45 нм Низкая чувствительность, высокая производительность
Количество каналов обнаружения 2
Диаметр контролируемых пластин 150, 200, 300 мм
Производительность (пластин/час) 120
Контроль неплоскостности имеется
Источник излучения непрерывный твердотельный лазер, λ =355 нм, (100 – 200) мВт
Падение луча 3 режима: нормальное, наклонное, светлое поле
Собирательная оптика 2 канала – широкий и узкий
Фотоприемник ФЭУ в каждом канале
Режим сканирования вращение стола с радиальным перемещением (спиральная развертка)
Размер сканирующего пятна 2 режима:
– высокая чувствительность, малая производительность – 10х100 мкм,
– низкая чувствительность, высокая производительность – 10х300 мкм
Время сканирования пластины 200 мм – высокая чувствительность – 50 сек.,
– низкая чувствительность - 20 сек.
Фокусировка автоматическая
Визуальный канал оптический микроскоп с разрешением 0,45 мкм и полем 0,3 мм с выводом изображения на монитор (λ=365 нм, К=24, NA=0,5)
Количество мониторов 2: один для отображения дефектов и один для интерфейса оператора
Тип кассет открытая кассета или SMIF по согласованию с заказчиком

 

 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин
Контейнеры для хранения фотошаблонов