|
Контейнер предназначен для временного хранения промежуточных фотооригиналов (ПФО) подготовленных к работе на установке совмещения и мультипликации ЭМ-5084Б(БМ).
Контейнер обеспечивает механический интерфейс при автоматической загрузке промежуточных фотооригиналов (ПФО) из библиотеки шаблонов в установку совмещения и мультипликации ЭМ-5084Б(БМ) для их экспонирования, а также при выгрузке ПФО из установки.
Контейнер защищает ПФО от повреждений, загрязнений и пыли.
Размеры ПФО 127 х 127 мм (5 ") толщиной 2,2 -3,9 мм, в соответствии со стандартом SEMI P1-92.
ПФО может иметь пелликл, отстоящий от рабочей плоскости ПФО на расстоянии 4 - 10 мм в соответствии с SEMI P5-94.
Контейнер имеет верхнюю открываемую крышку для легкого извлечения или загрузки ПФО, а также для периодической чистки внутренней поверхности контейнера. Крышка фиксируется в закрытом положении защелками.
У контейнера имеется подпружиненная передняя крышка для извлечения ПФО из контейнера при автоматической загрузке ПФО в установку и для выгрузки ПФО из установки обратно в контейнер.
Размеры контейнера (Ширина х Глубина х Высота): 180 х 152 х 38 мм
Масса контейнера: 0.4 кг.
Материал: АБС-пластик Тегнорал-20.
По специальному заказу контейнер можно изготовить из поликарбоната ПК-Л1-УВ20, не накапливающего зарядов статического электричества.
|
Планар (КБТЭМ)