«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5186 Установка формирования двухсторонних знаков совмещения

 

ЭМ-5186 Установка формирования двухсторонних знаков совмещения

Установка ЭМ-5186 предназначена для нанесения знаков совмещения на нижнюю сторону пластины (подложки), совмещенных со знаками совмещения, сформированными предварительно на её верхней стороне.

Установка позволяет изготавливать пластины с двухсторонней литографией на традиционном фотолитографическом оборудовании. Установка позволяет формировать знаки на прозрачных подложках.

Применяется для изготовления полупроводниковых приборов, гибридных, оптических, оптоэлектронных приборов, МЭМС и МОЭМС.

 

Технические характеристики установки

Размер подложек*, мм Ø76; 100; 150; 200; 60х48
Толщина подложки, мм 0.3 ... 10.0
Случайная составляющая погрешности совмещения
знаков на двух сторонах подложки, мкм
0.3
Напряжение/частота сети электропитания, В/Гц 230/50 ... 60
Потребляемая мощность, не более, Вт 300
Масса установки, не более, кг 250


*Уточняется при заказе

 

 

KBTEM-OMO year og science