|
ЭМ-3067 Установка отмывки сверхтонких пластин |
Установка отмывки сверхтонких пластин ЭМ-3067 предназначена для мойки струей
воды, смешанной с воздухом, и сушки пластин после резки их на кристаллы.
В установке используется способ струйной гидродинамической очистки, заключающийся в подаче на очищаемую поверхность водяной струи, смешанной со сжатым
воздухом.
Сушка производится в струе очищенного сжатого воздуха или инертного газа за счет
центробежного эффекта с раскручиванием пластины до 3000 об/мин.
Опционально предусмотрена возможность отмывки надрезанных пластин без наклейки на плёнку рамки-носителя.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диаметр полупроводниковых пластин, мм (max) | 200 | | Время очистки, с | 0...180 | | Время сушки, с | 0...180 | | Частота вращения центрифуги, об/мин | 300 ... 3000 | | Электропитание установки, В/Гц/Вт | 230/50/500 | | Габаритные размеры, мм | 600x400x1300 | | Масса, кг | 80 |
|
|
Планар (КБТЭМ)