|
ЭМ-5026АМ Установка совмещения и экспонирования |
|
Установка ЭМ-5026АМ предназначена для совмещения
изображений фотошаблона и пластины (подложки) и переноса изображения с
фотошаблона на пластину (подложку) контактным (в зазоре) экспонированием
фоторезистивного слоя пластины.
| УСТАНОВКА ЭМ-5026АМ ИМЕЕТ АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ: |
|
- подача пластины (подложки) из кассет;
- центрирования и ориентации по базовому срезу;
- предварительной точной ориентации и загрузки пластины на рабочий столик;
- компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном;
- выхода на заданный оператором зазор совмещения;
- экспонирования фоторезистивного слоя на пластинах;
- выгрузки в приемную кассету;
- режим энергосбережения.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диапазоны рабочих длин волн*, нм | 225-260; 280-335;
350-450 | | Фотолитографическое разрешение, мкм | 0.4 ... 0.7 | | Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110мм, % | ±2.5 | | Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм | ±0.1 | | Диаметр обрабатываемых пластин*, мм | 50; 60; 76; 100; 60x48 | | Размер фотошаблонов*, мм | 102 х102, 127х127 | | Чувствительность привода манипулятора совмещения: | | | - по X, Y, мкм | 0.01 | | - по углу, секунд | 0.1 | | Двупольный микроскоп с расщепленным полем и
плавным изменением увеличения** | | - с объективами ОМ 0.4/8 и окулярами 10х |
150х ... 480х | | - с объективами ОМ 0.2/14 и окулярами 10х |
90х ... 250х | | Потребляемая мощность, не более, Вт | 800 | *Уточняется при заказе
**Одновременный вывод изображения с микроскопа на экран монитора |
|
|
Планар (КБТЭМ)