«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5026АМ Установка совмещения и экспонирования

 

ЭМ-5026АМ Установка совмещения и экспонирования

Установка ЭМ-5026АМ предназначена для совмещения изображений фотошаблона и пластины (подложки) и переноса изображения с фотошаблона на пластину (подложку) контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины.

Установка ЭМ-5026АМ имеет автоматические системы:
- подача пластины (подложки) из кассет;
- центрирования и ориентации по базовому срезу;
- предварительной точной ориентации и загрузки пластины на рабочий столик;
- компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном;
- выхода на заданный оператором зазор совмещения;
- определения ошибки совмещения знаков совмещения на фотошаблоне и пластине
- экспонирования фоторезистивного слоя на пластинах;
- выгрузки в приемную кассету;
- режим энергосбережения.

 

Технические характеристики установки 

Диапазоны рабочих длин волн*, нм 225-260; 280-335;
350-450
Фотолитографическое разрешение, мкм 0.4 ... 0.7
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110мм, % ±2.5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм ±0.1
Диаметр обрабатываемых пластин*, мм 50; 60; 76; 100; 60x48
Размер фотошаблонов*, мм 102 х102, 127х127
Чувствительность привода манипулятора совмещения:
- по X, Y, мкм
- по углу, секунд

0.01
0.1
Двупольный микроскоп с расщепленным полем и
плавным изменением увеличения**
 
- с объективами ОМ 0,4/8 и окулярами 10х
- с объективами ОМ 0,2/14 и окулярами 10х

150х ... 480х
90х ... 250х

Потребляемая мощность, не более, Вт 800


*Уточняется при заказе
**Вывод изображения на монитор

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science