|
ЭМ-2115 Полуавтомат разделения подложек |
Двухшпиндельный высокопроизводительный полуавтомат разделения подложек ЭМ-2115 предназначен для двухзаходного разделения пластин и подложек на спутниках рамочного
типа с наружным диаметром 294 мм и толщиной 1.6 мм специальным микроабразивным инструментом.
Загрузка спутника с подложкой осуществляется вручную.
Поиск скрайберной дорожки (реперных меток), выравнивание подложки
проводится автоматически системой машинного зрения, после окончания реза
подложки по одной из плоскостей она автоматически поворачивается на
нужный угол для продолжения операции разделения.
Полуавтомат позволяет определять диаметр алмазного диска перед выполнением
операции разделения каждой подложки, что позволяет всегда гарантировать
качественный пропил. Полуавтомат рассчитан для использования корпусных
алмазных дисков типа ДАР с наружным диаметром 56 мм производства ОАО
"Планар" или бескорпусных режущих алмазных дисков с наружным диаметром
до 76 мм.
Полуавтомат может быть запрограммирован на резку подложек на кристаллы как
прямоугольной формы, так и на шестигранники и восьмигранники. Возможно
сквозное разрезание стержней и капилляров с наружным диаметром до 5 мм
(опционально до 10 мм).
| КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ |
|
1. Шпиндели на аэростатических опорах.
2. Диаметр пластины до 200 мм.
3. Обратная связь по координатам XYZF (линейные энкодеры по координатам YZ, угловые энкодеры по координатам XF).
4. Жесткая портальная конструкция.
5. Рабочая подача осуществляется приводом постоянного тока.
6. Использование корпусных алмазных дисков типа ДАР с наружным диаметром
56 мм производства ОАО "Планар" или бескорпусных режущих алмазных
дисков с наружным диаметром до 76 мм.
|
ПОЛУАВТОМАТ РЕШАЕТ СЛЕДУЮЩИЕ ЗАДАЧИ |
|
1. Надрезание и сквозное разделение пластин и подложек на кристаллы,
как прямоугольной формы, так и на шестигранники и восьмигранники.
2. Сквозное разрезание стержней и капилляров.
3. Сквозное разрезание светодиодных матриц.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диаметр полупроводниковых пластин, мм (max) | 200 | | Толщина обрабатываемых пластин, мм | 200...1500 (10000*) | | Количество установленных электрошпинделей | 2 | | Мощность электрошпинделя, кВт | 1.2 (1.8*, 2.4*) | | Регулируемая скорость вращения шпинделя, об/мин | 10000 ... 60000 | | Диапазон регулирования рабочей подачи, мм/с | 0.1 ... 200 | | Дискретность регулирования рабочей подачи, мм/с | 0.1 | | Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 210 мм, мм, не более | 0.005 | | Электропитание, В/Гц/Вт | 230/50/4000 | | Габаритные размеры, мм | 1200×1050×1700 | | Масса, кг | 650 | | * - опционально |
|
|
Планар (КБТЭМ)