|
ОБОРУДОВАНИЕ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН И ПОДЛОЖЕК |
|
|
АВТОМАТИЧЕСКОЕ И
ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН И ПОДЛОЖЕК
|
|
|
ОБОРУДОВАНИЕ МОНТАЖА И ОЧИСТКИ ПЛАСТИН И ПОДЛОЖЕК
|
|
|
СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОБОРУДОВАНИЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН И ПОДЛОЖЕК
| | | | | | | | | | | | ЭМ-2165 | | ЭМ-2115 | | ЭМ-2085В | | | | | | | | | | Диаметр пластин | | до 300 мм | | до 200 мм | | до 200 мм |
|
|
|
|
|
|
| | Количество электрошпинделей | | 2 | | 2 | | 1 |
|
|
|
|
|
|
| | Мощность электрошпинделя | | 1.8 кВт | | 2.4 кВт | | 1.2 кВт |
|
|
|
|
|
|
| | Количество независимых зон резания | | 2 | | 1 | | 1 |
|
|
|
|
|
|
| | Толщина обрабатываемых пластин | | до 10 000 мкм | | до 10 000 мкм | | до 1 500 мкм |
|
|
|
|
|
|
| | Сквозное разрезание стержней и капилляров | | до Ø10 мм | | до Ø10 мм | | до Ø5 мм |
|
|
| | Особенности | | Резка подложек на кристаллы как прямоугольной формы, так и на
6-ти и 8-мигранники |
|
|
Планар (КБТЭМ)
