«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5062М Фотоповторитель

 

ЭМ-5062М Фотоповторитель

Установка ЭМ-5062М предназначена для изготовления металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем методом проекционного переноса.

 

Технические характеристики установки

Фотографическое разрешение на поле модуля 10х10мм
(на структурах линия-промежуток), не более, мкм
1
Производительность при времени экспонирования 0,5 с, количестве модулей 61,
размере модуля 10х10 мм, на шаблонах 127х127 мм, не менее, фотошаблонов/ч
30
Рабочее поле перемещения каретки координатного стола, не менее, мм 150х150
Масштаб проекционного уменьшения объектива 1:10
Максимальный размер экспонируемого модуля на шаблоне, мм 10х10
Невоспроизводимость размера минимального элемента,
при ширине линии 1,2 мкм, не более, нм
200
Размеры заготовок фотошаблонов, мм 76х76; 102х102; 127х127; 153х153
Размеры промежуточных фотошаблонов, мм 102х102; 127х127
Потребляемая мощность, не более, кВт 1,8

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science