«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5131 Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

 

ЭМ-5131 Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

Установка позволяет осуществлять ремонт шаблонов с различными типами маскирующих покрытий: хром, окись хрома, окись железа.

Основные особенности:

  • залечивание непрозрачных дефектов участка покрытия;
  • залечивание прозрачных дефектов участка покрытия;
  • установка оснащена фемтосекундным лазером, что позволяет проводить обработку без повреждения материала подложки фотошаблона;
  • телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения на дефект;
  • угловая ориентация фотошаблона и привязка координатной системы;
  • задание технологических параметров ретуши в автоматическом и пользовательском режимах.

 

Технические характеристики установки

Минимальный диаметр устраняемых дефектов, мкм:  
- прозрачных 0,25
- непрозрачных   0,25
Размер рабочего поля, мм
160х160
Разворот исправляемого участка,°
0 ... 90
Точность наведения луча лазера на непрозрачный исправляемый участок, нм
100
Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка, нм
100
Потребляемая мощность, не более, кВт
4

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science