«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5131Б Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

 

ЭМ-5131 Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

Установка позволяет осуществлять ремонт шаблонов с различными типами маскирующих покрытий: хром, окись хрома, окись железа.

Основные особенности:

  • залечивание непрозрачных дефектов участка покрытия;
  • залечивание прозрачных дефектов участка покрытия;
  • установка оснащена фемтосекундным лазером, что позволяет проводить обработку без повреждения материала подложки фотошаблона;
  • телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения на дефект;
  • угловая ориентация фотошаблона и привязка координатной системы;
  • задание технологических параметров ретуши в автоматическом и пользовательском режимах.

 

Технические характеристики установки

Минимальный диаметр устраняемых дефектов, мкм:  
- прозрачных 0,25
- непрозрачных   0,25
Максимальный размер рабочего поля, мм
160х160
Разворот исправляемого участка,°
0 ... 90
Точность наведения луча лазера на непрозрачный исправляемый участок, нм
100
Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка, нм
100
Потребляемая мощность, не более, кВт
4

 

Функциональные характеристики установки

30x 7.5x
Рабочий отрезок объективов 4.9 мм 18 мм
Минимальный шаг перемещения стола по XY 10 нм 10 нм
Ошибка выхода на дефект по файлу ±1 мкм ±1 мкм
Погрешность наведения на край ±100 нм ±500 нм
Непрозрачные дефекты: Да Нет
Минимальный размер прилегающего дефекта 500 нм N/A
Минимальный размер изолированного дефекта 500 нм N/A
Минимальный размер промежутка 1000 нм N/A
Прозрачные дефекты:
Устранение прозрачных дефектов N/A N/A
Минимальный размер прилегающего дефекта N/A N/A
Минимальный размер изолированного дефекта N/A N/A
Минимальный размер промежутка N/A N/A

 

* Свободная зона вокруг дефекта должна быть не менее 500 нм. Устранение прозрачных дефектов проводится при необходимости в два этапа: осаждение, испарение.