ЭМ-5181B Установка лазерной коррекции топологии фазосдвигающих шаблонов

Установка позволяет осуществлять ремонт шаблонов с различными типами маскирующих покрытий: хром, окись хрома, окись железа.

ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:

ремонт непрозрачных дефектов участка покрытия;
ремонт прозрачных дефектов участка покрытия;
установка оснащена фемтосекундным лазером, что позволяет проводить обработку без повреждения материала подложки фотошаблона;
телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения на дефект;
угловая ориентация фотошаблона и привязка координатной системы;
задание технологических параметров ретуши в автоматическом и пользовательском режимах.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Минимальный диаметр устраняемых дефектов:
- прозрачных, мкм	1
- непрозрачных, мкм	0.5
Максимальный размер рабочего поля, мм	160х160
Разворот исправляемого участка, град	±45
Точность наведения луча лазера на непрозрачный исправляемый участок, нм	500
Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка, нм	100
Потребляемая мощность, не более, кВт	4

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Увеличение объективов, крат	100x	75x	30x	7.5x
Рабочий отрезок объективов, мм	2,2	7,5	7,5	18
Минимальный шаг перемещения стола по XY, нм	50	50	50	50
Ошибка выхода на дефект по файлу, мкм	±5	±5	±5	N/A
Погрешность наведения на край, нм	±50	±70	±100	N/A
Непрозрачные дефекты:	Да	Да	Да	Нет
Минимальный размер прилегающего дефекта, нм	500	700	1000	N/A
Минимальный размер изолированного дефекта, нм	500	700	1000	N/A
Минимальный размер промежутка, нм	1000	1400	2000	N/A
Прозрачные дефекты:
Устранение прозрачных дефектов	N/A	Да	N/A	N/A
Минимальный размер прилегающего дефекта, нм	N/A	500*	N/A	N/A
Минимальный размер изолированного дефекта, нм	N/A	500*	N/A	N/A
Минимальный размер промежутка, нм	N/A	1000*	N/A	N/A
* Свободная зона вокруг дефекта должна быть не менее 500 нм. Устранение прозрачных дефектов проводится при необходимости в два этапа: осаждение, испарение.

Transmenu powered by JoomlArt.com - Mambo Joomla Professional Templates Club