«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5001Б Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

 

ЭМ-5001Б Установка лазерного устранения дефектов шаблонов

Настоящая установка позволяет осуществлять ремонт шаблонов с различными типами маскирующих покрытий: хром, окись хрома, окись железа.

Основные особенности:

  • залечивание непрозрачных дефектов участка покрытия;
  • залечивание прозрачных дефектов участка покрытия без травмирования поверхности материала фотошаблона;
  • установка оснащена пикосекундным лазером;
  • телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения на дефект;
  • угловая ориентация фотошаблона и привязка координатной системы;
  • задание технологических параметров ретуши в автоматическом и пользовательском режимах.

Непрозрачные дефекты устраняются путем испарения остатков хрома при помощи импульсного лазера.
Ретушь прозрачных дефектов осуществляется посредством лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения из газообразной фазы. В качестве источника излучения используется твердотельный непрерывный лазер.

 

Технические характеристики установки

Минимальный диаметр устраняемых дефектов, мкм:  
- прозрачных 0.5
- непрозрачных 0.5
Размер рабочего поля, мм 160х160
Разворот исправляемого участка,° 0...90
Точность наведения луча лазера на непрозрачный исправляемый участок, нм 100
Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка, нм 100
Потребляемая мощность, не более, кВт 5
  

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science