|
ЭМ-6015М1 Автоматизированная установка контроля микроизображений |
|
Установка ЭМ-6015М1 предназначена для контроля
размеров и обнаружения дефектов и загрязнений топологических структур,
сформированных на полупроводниковых пластинах и масках фотошаблонов в
технологических процессах производства изделий микроэлектроники.
Однако область ее применений может быть расширена в
другие сферы, такие как материаловедение, машиностроение, металлография,
криминалистика, реставрация, производство новых материалов и для
решения исследовательских задач в университетах и учебных заведениях.
- телецентрическая оптика;
- система лазерной автофокусировки;
- наличие функции сравнения изображений, программная регулировка
увеличения, панорамная сшивка граничных фрагментов изображений и т.п.;
- осуществление калибровки путём измерений аттестованных размеров на тест – объекте;
- применение светодиодов (что увеличивает срок службы источников освещения и снижает энергопотребление);
- наличие механических изоляторов вибраций.
| ПЕРЕЧЕНЬ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ФУНКЦИЙ: |
|
- Горизонтальное и вертикальное перемещение образца.
- Изменение увеличения путем смены объектива.
- Регулирование интенсивности света.
- Фокусировка (динамическая лазерная и статическая по изображению).
- Контроль размеров микроструктур.
- Выход в зону расположения контролируемой структуры.
- Статистическая обработка данных контроля.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Количество объективов, шт. | 3 | | Минимальный рабочий отрезок объективов, мм | 10 | | Числовые апертуры объективов | 0.15 ... 0.5 | | Увеличение объективов | 5х ... 50х | | Поле зрения объективов, мм | 0.44 ... 4.4 | | Поле зрения на мониторе (диагональ), мм | 0.3 ... 3 | | Увеличение окуляров | 10 | | Полезное электронное увеличение | 40 | | Общее увеличение при наблюдении через окуляры | 50х ... 500х | | Общее увеличение при наблюдении на мониторе | до 2000х | | Разрешение видеокамеры, Мп | 8 | | Разрешение монитора | 4K | | Ход координатного стола для X, Y и Z, мм | 200х200х27 | | Размеры ШхГхВ, м | 1.2х0.8х1.5 | | Потребляемая мощность от сети 230В, Вт не более | 200 | | Общая масса, кг не более | 175 |
|
|
Планар (КБТЭМ)