«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6015М Установка автоматизированного контроля дефектности

 

ЭМ-6015М Установка автоматизированного контроля дефектности фотошаблонов

Установка предназначена для автоматизированного контроля и обнаружения дефектов и загрязнений на поверхности фотошаблонов, в том числе защищенных с двух сторон пелликлами, и полупроводниковых пластин. Контроль проводится с использованием комбинаций режимов освещения светлое и темное поле отраженного и проходящего света.

Особенности установки:

  • программное управление работой установки, возможность программирования пользователем маршрута контроля;
  • программная обработка данных о дефектах (изображение, координаты, размеры) с сохранением в базе данных;
  • автофокусировка;
  • объективы с увеличенными рабочими отрезками;
  • тачскрин;
  • модульность конструкции.

 

Технические характеристики установки

Числовые апертуры комплекта объективов 0,03 ... 0,5
Диапазон увеличений объективов 20х ... 500х
Минимальный рабочий отрезок объективов, мм 11
Линейные поля зрения объективов, мм 0,45 ... 10
Диапазон контролируемых размеров,мкм 1 ... 120
Дискрет представления данных при оценке линейных размеров, мкм 0.01
Ход координатного стола, мм 200х200
Диапазон скоростей координатного стола, мм/с от 0.02 до 20
Минимальный шаг перемещений стола, не более, мкм 1.0
Потребляемая мощность, не более, кВт  500
 

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science