«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6729 Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов

 

ЭМ-6729 Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установка ЭМ-6729 является современной разработкой для технологий уровня 65-45 нм. Установка осуществляет автоматический контроль первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты.

Методы контроля:
- сравнение с проектными данными (die-to-database или die-to-die);
- сравнение изображений в проходящем и отраженном свете.

Предъявление дефектов оператору в проходящем и отраженном свете на экране монитора, возможность классификации дефектов.

 

Технические характеристики установки

Размер минимально обнаруживаемого изолированного дефектов, нм 65
Максимальный размер рабочего поля, мм 153х153
Размер фотошаблонов, дюйм 5, 6, 7
Толщина фотошаблонов, мм 2,3 … 6,4
Производительность контроля, мм2/c 2,5 (пиксель 90нм)
Размер пикселя, нм 65, 90, 150, 250
Возможность программной фильтрации дефектов в диапазоне, пикселов 1, 2, … 10
Форматы проектных данных ZBA, GDS, ЭМ-5x09, ЭМ-5х89, 3600F, MEBES, а также другие по заказу
Контроль фотошаблонов, защищенных пелликлом с высотой рамки до, мм 6
Потребляемая мощность, не более, кВт 1,8

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science