|
ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 предназначены для
автоматического контроля первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как
прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы,
вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов,
уходы размеров, полутоновые дефекты и т. д.
Автоматический контроль дефектов осуществляется
методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем
свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных
топологии. После завершения автоматического контроля формируется
протокол дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране
оператору.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| | ЭМ-6729Б | ЭМ-6729-0.25 | | Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм | 0.15 | 0.25 | | Время контроля области 100х100мм, мин | 30 | 25 | | Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом, мин | 18 | 15 | | Размер рабочего поля, мм | 153х153 | | Дискретность перемещения координатного стола, нм | 5 | | Коэффициент увеличения визуального канала, крат | 150; 600; 2000 | | Диапазон коррекции размеров элементов эталонного изображения, нм | 50 ... 250 | | Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм | 0.15 ... 1.5 | | Максимальная высота рамки пеликла (с каждой стороны шаблона), мм | 6.5 | | Форматы проектных данных | ZBA, GDS, MEBES, DXF, другие по заказу | | Потребляемая мощность, не более, кВт | 1.8 | | После завершения контроля имеется возможность представить дефекты в off- и online режимах. |
|
Планар (КБТЭМ)
