|
ЭМ-6729Б Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов |
|
ЭМ-6729Б предназначена для
автоматического контроля топологии фотошаблонов, имеющих как
прозрачные, так и непрозрачные дефекты.
Автоматический контроль дефектов осуществляется
методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем
свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных
топологии. После завершения автоматического контроля формируется
ведомость дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране
оператору.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| | ЭМ-6729Б |
| Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм | 0.15 |
| Время контроля области 100х100мм, мин | 40 |
| Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом, мин | 25 |
| Максимальный размер рабочего поля, мм | 153х153 |
| Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм | 0.15 ... 1.5 |
| Максимальная высота рамки пеликла, мм | 6.5 |
| Форматы проектных данных | GDSII, MEBES, DXF |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 2 |
| После завершения контроля имеется возможность представить дефекты в off- и online режимах. |
|
Планар (КБТЭМ)
