|
ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 УСТАНОВКИ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ |
|
|
|
ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 предназначены для автоматического контроля первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров, полутоновые дефекты и т. д.
Автоматический контроль дефектов осуществляется методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных топологии. После завершения автоматического контроля формируется протокол дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране оператору.
|
Технические характеристики установки
| |
ЭМ-6729Б |
ЭМ-6729-0,25 |
| Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм |
0.15 |
0.25 |
| Время контроля области 100х100мм, мин |
75 |
25 |
| Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом, мин |
40 |
15 |
| Размер рабочего поля, мм |
153х153 |
| Дискретность перемещения координатного стола, нм |
5 |
| Коэффициент увеличения визуального канала, крат |
150, 600, 2000 |
| Диапазон коррекции размеров элементов эталонного изображения, нм |
50 ... 250 |
| Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм |
0.15 ... 1.5 |
| Максимальная высота рамки пеликла (с каждой стороны шаблона), мм |
6,5 |
| Форматы проектных данных |
ZBA, GDS, MEBES, DXF, другие по заказу |
| Потребляемая мощность, не более, кВт |
1.8 |
После завершения контроля имеется возможность представить дефекты в off- и online режимах.
|
