Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6729Б Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов

 

ЭМ-6729Б Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

ЭМ-6729Б предназначена для автоматического контроля топологии фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты.

Автоматический контроль дефектов осуществляется методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных топологии. После завершения автоматического контроля формируется ведомость дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране оператору.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

 ЭМ-6729Б
Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм0.15
Время контроля области 100х100мм, мин40
Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом, мин25
Максимальный размер рабочего поля, мм153х153
Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм0.15 ... 1.5
Максимальная высота рамки пеликла, мм6.5
Форматы проектных данныхGDSII, MEBES, DXF
Потребляемая мощность, не более, кВт2
После завершения контроля имеется возможность представить дефекты в off- и online режимах.