«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6329Б И ЭМ-6329Р УСТАНОВКИ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ

 

ЭМ-6329Б и ЭМ-6329Р Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

ЭМ-6329Б и ЭМ-6329Р предназначены для автоматического контроля первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров, полутоновые дефекты и т. д.

Автоматический контроль дефектов осуществляется методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных топологии. После завершения автоматического контроля формируется протокол дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране оператору.

 

Технические характеристики установки

  ЭМ-6329Б ЭМ-6329Р
Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм 0.15 0.25
Время контроля области 100х100мм, мин 25
Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом (1,0мкм), мин 7
Размер рабочего поля, мм 153х153
Дискретность перемещения координатного стола, нм 5
Коэффициент увеличения визуального канала, крат 150, 600, 2000
Диапазон коррекции размеров элементов эталонного изображения, нм 50 ... 250
Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм 0.25 ... 2.5
Максимальная высота рамки пеликла (с каждой стороны шаблона), мм 8
Форматы проектных данных ZBA,GDS,DXF, ЭМ-5x09, ЭМ-5х89
Потребляемая мощность, не более, кВт 1.8

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

 

KBTEM-OMO year og science