Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0.25 Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

 

ЭМ-6729Б и ЭМ-6729Б-0,15 Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

ЭМ-6729Б и ЭМ-6729-0,25 предназначены для автоматического контроля первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров, полутоновые дефекты и т. д.

Автоматический контроль дефектов осуществляется методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем свете, c эталонным изображением, генерируемым из проектных данных топологии. После завершения автоматического контроля формируется протокол дефектов. Есть возможность представить дефекты на экране оператору.

 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

 ЭМ-6729БЭМ-6729-0.25
Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм0.150.25
Время контроля области 100х100мм, мин3025
Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом, мин1815
Размер рабочего поля, мм153х153
Дискретность перемещения координатного стола, нм5
Коэффициент увеличения визуального канала, крат150; 600; 2000
Диапазон коррекции размеров элементов эталонного изображения, нм50 ... 250
Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм0.15 ... 1.5
Максимальная высота рамки пеликла (с каждой стороны шаблона), мм6.5
Форматы проектных данныхZBA, GDS, MEBES, DXF, другие по заказу
Потребляемая мощность, не более, кВт1.8
После завершения контроля имеется возможность представить дефекты в off- и online режимах.