«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5784 Автоматическая установка совмещения и экспонирования

 

Отличительные особенности установки ЭМ-5784:

  • источник излучения твердотельный лазер;
  • промежуточный шаблон размещается на координатном столе, который может перемещаться по оси Y с высокой точностью относительно подложки;
  • возможность работы с пьезоэлектрическими подложками: ниобата лития, танталата лития, пьезокварца, лангасита, лангатата и др.

 

 

Технические характеристики установки 

Масштаб изображения 1:5
Рабочая длина волны, нм 354,7
Разрешение (минимальный размер), мкм 0,35
Размер рабочего поля, мм 3.2 х 3.2
Числовая апертура объектива 0,45-0,61
Диаметр экспонируемых пластин, мм 75, 100, 150
Размеры фотошаблонов, мм 127 х 127