«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5109 Лазерный генератор изображений широкого применения

 

ЭМ-5109 Лазерный генератор изображений широкого применения

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве  интегральных схем, полупроводниковых приборов, гибридных схем, фотоэлектрических преобразователей, ЖК-индикаторов, прецизионных печатных плат, фотошаблонов ГИС, специальных измерительных и тестовых шаблонов как в производственных, так и  в научно-исследовательских и учебных целях.

Изображение формируется по принципу микрофотонабора. Размер элемента 1 мкм на большом рабочем поле 300х300 мм.
Установка оснащена системой совмещения.

В системе экспонирования генератора используется моноблочный импульсный лазер на молекулярном азоте с длиной волны 337 нм, длительностью светового импульса 6...8 нс и рабочей частотой до 1кГц.
Мощность лазера 240 мВт.

 

Технические характеристики установки

Размеры наборного элемента, мкм 1...300
Производительность (на регулярных структурах), млн. эксп./ч 1,7
Размер поля экспонирования, мм 300х300
Дискретность перемещений координатного стола, нм 50
Погрешность позиционирования координатного стола, нм ±150
Дискретность изменения размеров наборного элемента, нм 100
Угол поворота наборного элемента, ° 0...90
Дискретность изменения угла поворота, ° 0,025
Потребляемая мощность, не более, кВт 3

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей

 

 

KBTEM-OMO year og science