«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5231 Широкоформатная лазерная установка ремонта фотошаблонов

 

ЭМ-5231 ШИРОКОФОРМАТНАЯ ЛАЗЕРНАЯ УСТАНОВКА РЕМОНТА ФОТОШАБЛОНОВ 

ЭМ-5231 предназначена для ремонта 5”, 6”, 7”, 9” фотошаблонов с непрозрачными и прозрачными дефектами: вырывами, выступами, перемычками, скруглениями разрывов углов и прочими.
Установка позволяет ремонтировать фотошаблоны толщиной от 2.2 мм до 6.45 мм и с различным покрытием: хром, оксид хрома, оксид железа.

Оптическая плотность и адгезионные свойства устраненных прозрачных и непрозрачных дефектов соответствуют стандартам SEMI.
Система соответствует межгосударственному стандарту безопасности лазерной аппаратуры ГОСТ IEC 60825-1-2013, техническому регламенту Таможенного союза 004/2011 (безопасность низковольтного оборудования).

 

Технические характеристики установки

Устранение изолированных дефектов Да
Устранение прилегающих дефектов Да
Ремонт через пелликл Да (75x и 30x)
Работа с файлами дефектов с установки контроля Да
Ремонт через копирование топологии Да
Работа в проходящем свете Да
Работа в отраженном свете Да
Длина волны осветителя 257.5 нм
Длина волны лазеров 257.5 нм Испарение
488 нм Осаждение
Длительность лазерного импульса <300 фс
Рабочие объективы 100x, 75x, 30x, 7.5x
Диапазон перемещения по оси Z 5 мм
Разворот исправляемого участка при испарении +\- 45°
Тип загрузки фотошаблона Полуавтоматический
Стабильность работы ≥90% Uptime
Занимаемая площадь 15 м2