«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5289Б Генератор сканирующий лазерный

 

ЭМ-5289Б Генератор сканирующий лазерный 

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве СБИС и других изделий электронной техники.

ЭМ-5289Б позволяет формировать рисунок топологии на подложках совмещенный с предыдущими слоями.

Изображение формируется по принципу растрового сканирования с исполь­зо­ванием 32-канальной архитектуры. В системе ­экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ­лазер с длиной волны 257,2 нм.
Мощность лазера 1000 мВт.
Модель Innova Sаbre MotoFred фирмы Coherent.

 

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 350
Время экспонирования области 100х100мм, мин 120
Размер поля экспонирования, мм 215х215
Совмещаемость комплекта шаблонов, нм 50
Неровность края элементов топологии, нм 30
Дискретность адресной сетки, нм 1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт 55



Более подробная информация доступна только для
зарегистрированных пользователей