«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5489 МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ НА БАЗЕ ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ЛАЗЕРА

 

ЭМ-5489 МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ НА БАЗЕ ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ЛАЗЕРА (405 нм) 

Генератор ЭМ-5489 предназначен для формирования топологических структур на фотошаблонах с разрешением 0,35 мкм и полупроводниковых пластинах с разрешением 0,6 мкм по так называемой «бесшаблонной» технологии.

Технические характеристики установки

Размер лазерного пятна на уровне 0,5 от максимума интенсивности, нм 200
Равномерность размера, нм 20
Точность совмещения (3σ), нм 40
Размер поля экспонирования, мм 215х215
Время экспонирования поля 100х100 мм, мин 30
Потребляемая мощность, кВт 5