«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии

 

EМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии


Установка автоматической спектральной эллипсометрии ЭМ-6022 предназначена для прецизионного контроля бесконтактным неразрушающим
методом толщин пленок и многослойных тонкопленочных структур, а также их оптических констант на полупроводниковых пластинах.
Установка позволяет в реальных условиях серийного полупроводникового производства на рабочих и контрольных пластинах измерять
оптические константы и толщины моно и мультислоев: окислов кремния, нитриды кремния, фоторезистов и др.

 

В установке ЭМ-6022 реализованы новейшие и прогрессивные достижения из нескольких областей современных технологий:

  • Применение светодиодов;
  • Использование SMIF контейнера;
  • Роботизация загрузки-выгрузки;
  • Использование информационных технологий.

Для повышения удобства работы и увеличения производительности в установке автоматизирован ряд операций:

  • Выход в зону расположения контролируемой структуры.
  • Автофокусировка по изображению.
  • Горизонтальное и вертикальное перемещение образца.
  • Загрузка - выгрузка.
  • Статистическая обработка данных контроля.

 

Технические характеристики установки

Время контроля в одной точке, сек:
минимальное
среднее

2
10
Спектральный диапазон, нм 190-1000
Диаметр пластин, мм 100, 150, 200
Размер пятна, мкм 2000-5000
Размер пятна с микронасадкой (при перпендикулярном падении света), мкм 100
Диапазон контроля толщин прозрачных плёнок, нм 0,1-35000
Размер рабочего поля, мм 200х200

 

 

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины
Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии
Широкоформатные степперы
Оборудование для контроля полупроводниковых пластин
Приглашаем посетить
наш стенд на выставке
 
Shanghai New International
Expo Centre
Шанхай, КНР
20-22 Марта, 2019
Add to My Expo Plan
Register Now