|
ЭМ-6022 Установка автоматической спектральной эллипсометрии |
|
Установка автоматической спектральной эллипсометрии ЭМ-6022 предназначена для прецизионного контроля бесконтактным неразрушающим методом толщин пленок и многослойных тонкопленочных структур, а также их оптических констант на полупроводниковых пластинах.
Установка позволяет в реальных условиях серийного полупроводникового производства на рабочих и контрольных пластинах измерять оптические константы и толщины моно и мультислоев: окислов кремния, нитриды кремния, фоторезистов и др.
| В УСТАНОВКЕ ЭМ-6022 РЕАЛИЗОВАНЫ НОВЕЙШИЕ И ПРОГРЕССИВНЫЕ ДОСТИЖЕНИЯ ИЗ НЕСКОЛЬКИХ ОБЛАСТЕЙ СОВРЕМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ: |
|
- Применение светодиодов;
- Использование SMIF контейнера;
- Роботизация загрузки-выгрузки;
- Использование информационных технологий.
| ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ УДОБСТВА РАБОТЫ И УВЕЛИЧЕНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ В УСТАНОВКЕ АВТОМАТИЗИРОВАН РЯД ОПЕРАЦИЙ: |
|
- Выход в зону расположения контролируемой структуры.
- Автофокусировка по изображению.
- Горизонтальное и вертикальное перемещение образца.
- Загрузка - выгрузка.
- Статистическая обработка данных контроля.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
Время контроля в одной точке:
- минимальное, сек
- среднее, сек |
2
10 | | Спектральный диапазон, нм | 190 ... 1000 | | Диаметр пластин, мм | 100; 150; 200 | | Размер пятна, мкм | 2000
... 5000 | | Размер пятна с микронасадкой (при перпендикулярном падении света), мкм | 100 | | Диапазон контроля толщин прозрачных плёнок, нм | 0.1
... 35000 | | Размер рабочего поля, мм | 200х200 |
|
|
Планар (КБТЭМ)