«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор

 

ЭМ-5189-02 Сканирующий лазерный генератор 

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве СБИС и других изделий электронной техники.

ЭМ-5189-02 позволяет формировать рисунок топологии на подложках совмещенный с предыдущими слоями.

Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 16-канальной архитектуры.

В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый полупроводниковый лазер с оптической накачкой с длиной волны 355 нм.
Мощность лазера 250 мВт. Гарантированное время работы на отказ 20000 часов (~10 лет).
Модель Genesis CX 355-250 STM фирмы Coherent.

 

Технические характеристики установки

Размер минимального элемента, нм 600
Время экспонирования области 100х100мм, мин 60
Размер поля экспонирования, мм 215х215
Совмещаемость слоев, нм 70
Неровность края элементов топологии, нм 40
Дискретность адресной сетки, нм 1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт 5

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей


 

 

KBTEM-OMO year og science