Планар (КБТЭМ)
 
ЭМ-5589 Многоканальный лазерный генератор изображений

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве СБИС и других изделий электронной техники. ЭМ-5589 позволяет формировать рисунок топологии на подложках совмещенный с предыдущими слоями. Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 16-канальной архитектуры.

В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый полупроводниковый лазер с оптической накачкой с длиной волны 355 нм.
Мощность лазера 250 мВт. Гарантия 13 месяц или 10 000 часов (что наступит ранее).


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размер минимального элемента, нм600
Время экспонирования области 100х100мм, мин70
Размер поля экспонирования, мм215х215
Совмещаемость слоев, нм70
Неровность края элементов топологии, нм 40
Дискретность адресной сетки, нм1.25
Потребляемая мощность, не более, кВт5