«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5141 Установка ремонта фотошаблонов

 

ЭМ-5141 Установка ремонта фотошаблонов

Установка ремонта фотошаблонов ЭМ-5141 предназначена для ремонта фотошаблонов технологического уровня 65 нм.

В основе работы установки используются два метода устранения дефектов покрытия шаблонов в зависимости от их типа: непрозрачные дефекты устраняются путем испарения покрытия шаблона сфокусированным излучением лазера RYF-1/5FH, работающего в импульсно периодическом режиме; ремонт прозрачных дефектов выполняется путем лазерно-химического осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически по информации, получаемой от установок контроля топологии шаблонов.

Основные особенности:

  • ремонт прозрачных дефектов;
  • ремонт непрозрачных дефектов;
  • телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения;
  • возможность полуавтоматической загрузки (выгрузки) шаблона.

 

Технические характеристики установки

Минимальный размер ремонтируемых дефектов, мкм:  
- прозрачных 0,45
- непрозрачных   0,15
Максимальный размер рабочего поля, мм
160х160
Разворот элемента,°
0 ... 90
Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка покрытия, не более, мкм
0,05
Потребляемая мощность, не более, кВт
4

 

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей