«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования

 

ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования

 

Технические характеристики установки 

Диапазоны рабочих длин волн*, нм 225-260;
350-450
Фотолитографическое разрешение, мкм 0.8 ... 1
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150мм, % ±4
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм ±0.2
Диаметр обрабатываемых пластин, мм 150
Размер фотошаблонов, мм 177,8х177,8
Толщина фотошаблона, мм
3,15; 3,9; 6,45
Чувствительность манипулятора совмещения:  
- по X, Y, мм
- по углу, секунд

0,01
0,1

Вывод изображения с объективов микроскопов
только на экран монитора. Автоматическая фокусировка.
Оптическое увеличение каждого канала микроскопа

18х


*Уточняется при заказе

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей