|
 
ЭМ-5126 - первая полностью автоматическая установка совмещения и экспонирования разработки ОАО "Планар".
Данная установка обладает полным набором автоматических узлов: загрузка пластин с кассеты, ориентация по базовому срезу, перенос на столик совмещения, калибровка по толщине, выравнивание неплоскостности, совмещения с фотошаблоном, выход на заранее определенный зазор экспонирования, экспонирование и выгрузка пластины в кассету.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 150 | | Толщина обрабатываемых пластин, мм | 0.4 ... 0.8 | | Размер фотошаблонов, мм | 177.8 х 177.8 | | Толщина фотошаблонов, мм | 3.15; 3.9; 6.45 | | Фотолитографическое разрешение при вакуумном контакте, мкм, не более | 0.6 ... 0.8 | | Производительность в режиме первичного экспонирования (без учета времени совмещения и при времени экспонирования tэксп = 1с), пластин/ч | 140 | | Время автоматического совмещения (с заданной точностью от ±0,5 до ±0,05 мкм), с | 10 ... 60 | | Зазор между фотошаблоном и пластиной при совмещении и экспонировании, мкм | 0 ... 40 | | Диапазоны рабочих длин волн при экспонировании*, нм | 225-260; 280-330; 350-450 | | Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150мм, %, не более | ±2.5 | Увеличение цветных изображений с микроскопов на экране монитора 23”, крат:
(автоматическая фокусировка, автоматическая настройка освещенности) | 250; 500; 1000 | | Регулируемое расстояние между осями объективов микроскопов, мм | 80 ... 130 | | Мощность ртутно-ксеноновой лампы (ДРКс-500), Вт | 500 | | Электрическая мощность, потребляемая установкой, Вт, не более | 855 | | Масса, кг | 450 | | Габаритные размеры установки Ш х Г х В, мм | 1290 х 1225 х 1550 | *Уточняется при заказе
**Возможна установка светодиодного осветителя с λ=365нм |
|
|
Планар (КБТЭМ)