«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования

 

ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5126 Установка совмещения и экспонирования

 

Технические характеристики установки 

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 150
Толщина обрабатываемых пластин, мм 0,4 ... 0,8
Размер фотошаблонов, мм 177,8 х 177,8
Толщина фотошаблонов, мм 3,15; 3,9; 6,45
Фотолитографическое разрешение при вакуумном контакте, мкм, не более 0,6 ... 0,8
Случайная составляющая погрешности автоматического совмещения, мкм < 0.1
Погрешность предварительной ориентации и переноса пластин на рабочий столик, по координатам X и Y, мкм и углу Θ, градусы, не более: X, Y = ±15;
Θ = ± 0,01
Производительность в режиме первичного экспонирования (без учета времени совмещения и при времени экспонирования tэксп = 1с) пластин/ч
140
Время автоматического совмещения (с заданной точностью от ±0,5 до ±0,05 мкм), с 10 ... 60
Чувствительность приводов манипулятора пластин, мкм 0,05
Ход манипулятора фотошаблона по координатам Х и Y, мм и по углу Θ градусы Х, Y = ± 2
Θ = ± 3
Зазор между фотошаблоном и пластиной при совмещении и экспонировании, мкм 0 ... 40
Диапазоны рабочих длин волн при экспонировании*, нм 225-260; 280-330;
350-450
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150мм, %, не более ±2.5
Увеличение цветных изображений с микроскопов на экране монитора 23”, крат
Автоматическая фокусировка. Автоматическая настройка освещенности
250; 500; 1000
Регулируемое расстояние между осями объективов микроскопов, мм 80 ... 130
Ход манипулятора микроскопа по координатам Х и Y, мм Х, Y = ± 25
Мощность ртутно-ксеноновой лампы (ДРКс-500), Вт 500
Электрическая мощность, потребляемая установкой, Вт, не более 855
Масса, кг 450,0
Габаритные размеры установки Ш х Г х В, мм 1290 х 1225 х 1550


*Уточняется при заказе