«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5106 Установка совмещения и экспонирования

 

ЭМ-5106 Установка совмещения и экспонирования

 

Технические характеристики установки 

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 150
Толщина обрабатываемых пластин, мм 0,4 ... 0,8
Размер фотошаблонов, мм 177,8 х 177,8
Толщина фотошаблонов, мм 3 ... 3,9
Фотолитографическое разрешение при вакуумном контакте, мкм, не более 0,6 ... 0,8
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм ±0.1
Погрешность предварительной ориентации и переноса пластин на рабочий столик, по координатам X и Y, мкм и углу Θ, градусы, не более: X, Y = ±15;
Θ = ± 0,01
Производительность в режиме первичного экспонирования (без учета времени совмещения и при времени экспонирования tэксп = 1с) пластин/ч
140
Ход манипулятора пластин по координатам Х и Y, мм и по углу Θ, градусы, не менее Х, Y = ± 3     Θ = ± 10
Чувствительность тонких приводов манипулятора пластин по координатам X и Y, мкм и по углу Θ, секунды Х, Y< 0,01
Θ < 0,1
Ход манипулятора фотошаблона по координатам Х и Y, мм и по углу Θ градусы Х, Y = ± 2      Θ = ± 3
Зазор между фотошаблоном и пластиной при совмещении и экспонировании, мкм 0 ... 40
Диапазоны рабочих длин волн при экспонировании*, нм 225-260; 280-330;
350-450
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150мм, %, не более ±2.5
Увеличение двупольного микроскопа с расщепленным полем и плавным изменением увеличения
- с окулярами 10х, и объективами ОМ-0,2/14,5 (ОМ1-0,4/8), крат
- одновременно с помощью цветной видеокамеры на экране монитора 23”, крат

85 … 270 (150 … 470)
225 … 560 (400 … 1000)
Регулируемое расстояние между осями объективов микроскопов, мм 32 … 129
Ход манипулятора микроскопа по координатам Х и Y, мм Х, Y = ± 25
Мощность ртутно-ксеноновой лампы (ДРКс-500)**, Вт 500
Электрическая мощность, потребляемая установкой, Вт, не более 800
Масса, кг 420,0
Габаритные размеры установки Ш х Г х В, мм 1290 х 1225 х 1520


*Уточняется при заказе
** Возможна установка светодиодной оптики для экспонирования с низким энергопотреблением и долгим сроком службы.