| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 150 |
| Толщина обрабатываемых пластин, мм | 0.4 ... 0.8 |
| Размер фотошаблонов, мм | 177.8 х 177.8 |
| Толщина фотошаблонов, мм | 3 ... 3.9 |
| Фотолитографическое разрешение при вакуумном контакте, мкм, не более | 0.6 ... 0.8 |
| Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм | ±0.1 |
| Погрешность предварительной ориентации и переноса пластин на рабочий столик по координатам X и Y, мкм, не более |
±15
|
| Погрешность предварительной ориентации и переноса пластин на рабочий столик по углу Θ, градусы, не более | ± 0.01 |
| Производительность в режиме первичного экспонирования (без учета времени совмещения и при времени экспонирования tэксп = 1с), пластин/ч |
140
|
| Ход манипулятора пластин по координатам Х и Y, мм, не менее
|
± 3 |
| Ход манипулятора пластин по углу Θ, градусы, не менее |
± 10 |
| Чувствительность тонких приводов манипулятора
пластин по координатам X и Y, мкм, не более |
0.01 |
| Чувствительность тонких приводов манипулятора пластин по углу Θ, секунды
, не более |
0.1
|
| Ход манипулятора фотошаблона по
координатам Х и Y, мм
|
± 2 |
| Ход манипулятора фотошаблона по углу Θ, градусы
| ± 3 |
| Зазор между фотошаблоном и пластиной при совмещении и экспонировании, мкм |
0 ... 40
|
| Диапазоны рабочих длин волн при экспонировании*, нм |
225-260; 280-330; 350-450 |
| Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150 мм, %, не более
|
±2.5
|
| Увеличение двупольного микроскопа с расщепленным полем и плавным изменением увеличения | |
| - с окулярами 10х, и объективами ОМ-0.2/14.5 (ОМ1-0.4/8), крат |
85 … 270 (150 … 470) |
| - одновременно с помощью цветной видеокамеры на экране монитора 23”, крат |
225 … 560 (400 … 1000) |
| Регулируемое расстояние между осями объективов микроскопов, мм
|
32 … 129
|
| Ход манипулятора микроскопа по координатам Х и Y, мм
| ± 25 |
| Мощность ртутно-ксеноновой лампы (ДРКс-500)**, Вт |
500
|
| Электрическая мощность, потребляемая установкой, Вт, не более |
800 |
| Масса, кг |
420
|
| Габаритные размеры, мм |
1290 х 1225 х 1520 |
*Уточняется при заказе
** Возможна установка светодиодной оптики для экспонирования с низким энергопотреблением и долгим сроком службы. |
Планар (КБТЭМ)
