«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5106 Установка совмещения и экспонирования

 

ЭМ-5106 Установка совмещения и экспонирования

 

Технические характеристики установки 

Диапазоны рабочих длин волн*, нм 225-260;
350-450
Фотолитографическое разрешение, мкм 0.8 ... 1
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 150мм, % ±2.5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм ±0.1
Диаметр обрабатываемых пластин, мм 150
Размер фотошаблонов, мм 177,8х177,8
Толщина фотошаблона, мм
2,95 ... 3,15
Двупольный микроскоп с расщепленным полем и
плавным изменением увеличения
 
- с окулярами 10х с одновременным
выводом изображения на экран монитора

90х ... 250х
150х ... 480х


*Уточняется при заказе

Более подробная информация доступна только для зарегистрированных пользователей